Trong quá trình xác nhận phòng sạch và phát hiện rò rỉ bộ lọc HEPA, độ chính xác đo lường của máy đo quang phổ khí dung ảnh hưởng trực tiếp đến tính tuân thủ của kết quả kiểm tra. Tuy nhiên, khi thực hiện hiệu chuẩn và bảo trì định kỳ, các phòng thí nghiệm kiểm tra của bên thứ ba thường gặp phải một điểm khó khăn kỹ thuật cốt lõi: sự bất ổn định của tốc độ dòng lấy mẫu và sự trôi điểm 0 ở điều kiện nồng độ cực thấp
Phá vỡ nút thắt của sự ổn định hiệu chuẩn nồng độ thấp
Việc hiệu chuẩn sai số chỉ thị nồng độ khối lượng của máy đo quang phổ khí dung ở nồng độ cực thấp đòi hỏi một nguồn tạo khí dung cực kỳ ổn định. Các bộ hiệu chuẩn thông thường thường gặp phải sự biến động nồng độ đáng kể khi xuất ra lượng khí dung vết.
Bộ hiệu chuẩn máy đo quang phổ khí dung APM-18 sử dụng hệ thống tạo bụi vòi phun Laskin lạnh tích hợp để tạo ra các hạt sương dầu đa thang đo ổn định trong phạm vi micromet, chủ yếu có kích thước 0,3µm
-
Tính liên tục ở nồng độ cực thấp: Trong phạm vi cực thấp (0,01~1) µg/L, thiết bị đạt được độ ổn định 4 giờ là ≤5%
. -
Độ chính xác nồng độ tiêu chuẩn: Trong phạm vi (1~100) µg/L, độ ổn định 20 phút được kiểm soát chặt chẽ ở mức ≤3%
. Sự nhất quán đầu ra này, được hỗ trợ bởi các tham số xác định, giải quyết hiệu quả vấn đề trôi điểm 0 trong quá trình hiệu chuẩn máy đo quang phổ ở nồng độ thấp , đảm bảo độ tin cậy cơ bản của thiết bị xác nhận phòng sạch.
