सेमीकंडक्टर ग्रेड छह-चैनल वायु कणों की गिनती Y09-SC100
वाफ़र फैब के लिए Y09-SC100 सेमीकंडक्टर ग्रेड छह-चैनल वायु कणों का काउंटर
Y09-SC100 अर्धचालक ग्रेड छह-चैनल वायु कणों काउंटर आधुनिक अर्धचालक वेफर निर्माण सुविधाओं की असाधारण स्वच्छता आवश्यकताओं के लिए जमीन से ऊपर के लिए इंजीनियर है.उन्नत अर्धचालक निर्माण में जहां महत्वपूर्ण विशेषता आयाम नैनोमीटर में मापे जाते हैं,यहां तक कि स्वच्छ कमरे के वातावरण में एकल अंकों के कणों की गिनती भी घातक दोष पैदा कर सकती है जो एकीकृत सर्किट कार्यक्षमता को नष्ट कर देती है और उत्पादन उपज को कम करती हैY09-SC100 अल्ट्रा-स्वच्छ सामग्रियों और निर्माण को सटीक कणों के पता लगाने के साथ जोड़कर इस चुनौती का समाधान करता है जो आईएसओ वर्ग 1 (क्लास 0.1) सबसे उन्नत अर्धचालक विनिर्माण नोड्स पर स्वच्छ कक्ष प्रमाणन और निगरानी कार्यक्रम.
उपकरण को 316L इलेक्ट्रोपोलिश्ड स्टेनलेस स्टील से निर्मित किया गया है, जो इसके असाधारण संक्षारण प्रतिरोध, न्यूनतम कण बहाव विशेषताओं के लिए चुना गया है,और अर्धचालक सुविधाओं में नियोजित आक्रामक स्वच्छ कक्ष सफाई प्रोटोकॉल के साथ संगततासभी आंतरिक अवयवों को अल्ट्रा-लो फ्लाइटिल ऑर्गेनिक कंपाउंड (वीओसी) आउटगैसिंग के लिए स्क्रीनिंग की जाती है ताकि आणविक संदूषण को रोका जा सके जो फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाओं को खतरे में डाल सकता है।Y09-SC100 में SEMI S2 और S8 सुरक्षा प्रमाणन हैं, जो सेमीकंडक्टर उद्योग के पर्यावरण, स्वास्थ्य और सुरक्षा के लिए सख्त उपकरण सुरक्षा मानकों के अनुपालन की पुष्टि करता है।पूर्ण विद्युत स्थैतिक डिस्चार्ज (ईएसडी) सुरक्षित डिजाइन उत्पादन क्षेत्रों में निगरानी गतिविधियों के दौरान विद्युत स्थैतिक क्षति से संवेदनशील अर्धचालक वेफर्स और उपकरणों की रक्षा करता है.
प्रमुख विशेषताएं| पैरामीटर | विनिर्देश |
|---|---|
| प्रवाह दर | 100 लीटर/मिनट (3.53 सीएफएम) |
| कण आकार चैनल | 0.3, 0.5, 1.0, 3.0, 5.0, 10.0 μm |
| एसईएमआई अनुपालन | एसईएमआई एस2 (सुरक्षा), एसईएमआई एस8 (एर्गोनोमिक्स) |
| आवास सामग्री | 316L इलेक्ट्रोपोलिश्ड स्टेनलेस स्टील |
| आउटगैसिंग वर्गीकरण | अति-कम VOC (प्रति SEMI F21) |
| ईएसडी सुरक्षा | पूर्ण ईएसडी-सुरक्षित डिजाइन, प्रवाहकीय आवास |
| प्रकाश स्रोत | दीर्घायु लेजर डायोड, 30,000+ घंटे एमटीबीएफ |
| संचार इंटरफेस | आरएस-485 मॉडबस आरटीयू, ईथरनेट टीसीपी/आईपी, यूएसबी 20 |
| दूरस्थ पहुँच | एम्बेडेड वेब सर्वर, ब्राउज़र आधारित डैशबोर्ड |
| डेटा भंडारण | 100सुविधा/स्थान टैगिंग के साथ,000 रिकॉर्ड |
| क्लीनरूम संगतता | आईएसओ वर्ग 1-8, एसईएमआई E49/E70 मानक |
| विद्युत आपूर्ति | AC 100-240V 50/60Hz; ली-आयन बैटरी 6+ घंटे |
| प्रदर्शन | 7-इंच रंग टचस्क्रीन, ईएसडी-सुरक्षित ओवरले |
| आयाम (WxDxH) | 325 x 295 x 160 मिमी |
| वजन | 7.2 किलोग्राम (स्टेनलेस स्टील निर्माण) |
Y09-SC100 स्वच्छ कक्ष निगरानी अनुप्रयोगों की पूरी श्रृंखला में उन्नत अर्धचालक विनिर्माण सुविधाओं की सेवा करता है। the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldयह उपकरण जमाव, उत्कीर्णन, आयन प्रत्यारोपण के लिए वेफर प्रसंस्करण बे में निरंतर निगरानी का समर्थन करता है।और रासायनिक यांत्रिक समतलकरण (सीएमपी) संचालन जहां प्रक्रिया नियंत्रण के लिए स्थिर स्वच्छ कमरे की स्थिति को बनाए रखना महत्वपूर्ण है.
अर्धचालक पैकेजिंग और परीक्षण सुविधाएं वाइपर बम्पिंग, फ्लिप-चिप असेंबली और उन्नत पैकेजिंग संचालन में आईएसओ क्लास 5-8 क्लीनरूम निगरानी के लिए Y09-SC100 का उपयोग करती हैं। Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityआरएफ, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक और पावर उपकरणों का उत्पादन करने वाली यौगिक अर्धचालक सुविधाएं विशेष स्वच्छ कमरे के वातावरण के साथ उपकरण की संगतता से लाभान्वित होती हैं। The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.
पैकेजिंग और गुणवत्ता आश्वासनप्रत्येक Sujing वायु कणों के काउंटर को सावधानीपूर्वक एक टिकाऊ निर्यात-ग्रेड कार्टन में पैक किया जाता है जिसमें उच्च घनत्व वाले फोम आवेषण होते हैं जो अंतरराष्ट्रीय शिपिंग के दौरान अधिकतम सुरक्षा सुनिश्चित करते हैं।मानक पैकेजिंग में मुख्य उपकरण इकाई शामिल है, आइसोकिनेटिक सैंपलिंग जांच, चार्जिंग केबल के साथ पावर एडाप्टर, शून्य-गणना फिल्टर, थर्मल प्रिंटर पेपर रोल, यूएसबी संचार केबल, पीसी सॉफ्टवेयर इंस्टॉलेशन मीडिया, कैलिब्रेशन प्रमाण पत्र,व्यापक उपयोगकर्ता पुस्तिकासभी शिपमेंट्स को प्रेषण से पहले गहन निरीक्षण से गुजरना पड़ता है जिसमें सभी छह कण चैनलों में कार्यात्मक परीक्षण, शून्य-गणना सत्यापन,प्रवाह दर कैलिब्रेशन की जाँच, और संचार इंटरफेस परीक्षण।
सुजिंग इंस्ट्रूमेंट एक आईएसओ 9001:2015 प्रमाणित गुणवत्ता प्रबंधन प्रणाली को बनाए रखता है जिसमें कच्चे माल के सोर्सिंग से लेकर अंतिम उत्पाद वितरण तक पूरी तरह से ट्रेसेबिलिटी होती है।प्रत्येक उपकरण 24 घंटे के बर्न-इन सहित सख्त गुणवत्ता आश्वासन परीक्षण से गुजरता हैहम 12 महीने की मानक वारंटी सहित व्यापक बिक्री के बाद समर्थन प्रदान करते हैं,जीवन भर तकनीकी परामर्श, दूरस्थ निदान सहायता, और वैकल्पिक रूप से कारखाने में प्रशिक्षित तकनीशियनों द्वारा किए गए रखरखाव सेवाओं के साथ साइट पर कैलिब्रेशन। हमारा वैश्विक सेवा नेटवर्क दुनिया भर के 60 से अधिक देशों को कवर करता है।
विनियमित उद्योगों के लिए जिन्हें औपचारिक क्लीनरूम अनुपालन दस्तावेज की आवश्यकता होती है, हम पूर्ण योग्यता और सत्यापन समर्थन पैकेज प्रदान करते हैं जिसमें स्थापना योग्यता (आईक्यू),परिचालन योग्यता (OQ), और अनुरोध पर प्रदर्शन योग्यता (पीक्यू) प्रोटोकॉल। हमारी अनुप्रयोग इंजीनियरिंग टीम कस्टम कॉन्फ़िगरेशन और विशेष निगरानी समाधानों के साथ सहायता के लिए उपलब्ध है।