شمارنده ذرات هوا شش کانال درجه نیمه هادی با فولاد ضد زنگ 316L برای نظارت بر اتاق تمیز Wafer Fab

شمارنده ذرات هوا شش کانال درجه نیمه هادی Y09-SC100

Y09-SC100 شمارنده ذرات هوا شش کانال درجه نیمه هادی برای Wafer Fab

Y09-SC100 نیمه هادی درجه شش کانال شمارنده ذرات هوا از زمین به بالا برای الزامات نظافت فوق العاده ای از تاسیسات تولید وافرهای نیمه هادی مدرن طراحی شده است.در تولید نیمه هادی پیشرفته که ابعاد ویژگی های بحرانی در نانومتر اندازه گیری می شوند،حتی تعداد ذرات تک رقمی در محیط اتاق تمیز می تواند باعث نقص های کشنده شود که عملکرد مدار یکپارچه را از بین می برد و عملکرد تولید را کاهش می دهدY09-SC100 این چالش را با ترکیب مواد بسیار تمیز و ساخت و ساز با تشخیص دقیق ذرات قادر به پشتیبانی از کلاس ISO 1 (کلاس 0.1) برنامه های صدور گواهینامه اتاق تمیز و نظارت در پیشرفته ترین گره های تولید نیمه هادی.

محفظه ابزار از فولاد ضد زنگ 316L ساخته شده است که به خاطر مقاومت خارق العاده ی آن در برابر خوردگی و کمترین ذراتو سازگاری با پروتکل های تمیز کردن اتاق های تمیز که در تاسیسات نیمه هادی استفاده می شودتمام اجزای داخلی برای خارج شدن از ترکیبات آلی بسیار کم (VOC) برای جلوگیری از آلودگی مولکولی که می تواند فرآیندهای فوتولیتوگرافی را به خطر بیندازد، بررسی می شوند.Y09-SC100 دارای گواهینامه ایمنی SEMI S2 و S8 است، تایید انطباق با استانداردهای سختگیرانه ایمنی تجهیزات صنعت نیمه هادی برای ملاحظات زیست محیطی، بهداشت و ایمنی.طراحی ایمن تخلیه الکتروستاتیک کامل (ESD) ، وافرهای نیمه هادی حساس و دستگاه ها را در طول فعالیت های نظارت در مناطق تولید از آسیب الکتروستاتیک محافظت می کند.

• ساخت و ساز از مواد بسیار تمیز:محفظه فولاد ضد زنگ 316L دارای مقاومت خارق العاده در برابر خوردگی، کمترین ریزش ذرات و سازگاری با پروتکل های تمیز کردن اتاق های تمیز نیمه هادی است.اجزای داخلی انتخاب و آزمایش می شوند تا آلودگی مولکولی را که می تواند فرآیندهای پیشرفته فوتولیتوگرافی و حکاکی را به خطر بیندازد، از خارج کردن بسیار کم VOC جلوگیری کند..
• مطابقت ایمنی گواهی شده SEMI:گواهینامه SEMI S2 موافقت با دستورالعمل های ایمنی تجهیزات تولید نیمه هادی را برای ملاحظات زیست محیطی، بهداشتی و ایمنی تأیید می کند.گواهینامه SEMI S8 مطابقت با دستورالعمل های مهندسی ارگونومی مخصوص تجهیزات تولید نیمه هادی را تأیید می کند، اطمینان از تعامل ایمن و کارآمد اپراتور در طول فعالیت های نظارت روتین.
• حفاظت کامل از ESD:طراحی امن تخلیه الکتروستاتیک شامل مواد محفظه رسانا، مقررات زمین،و پوشش لمسی استاتیک که از تجمع بار الکتروستاتیک در سطوح ابزار جلوگیری می کند. همه اتصال دهنده های خارجی دارای دیود های حفاظت ESD هستند تا از آسیب ناشی از رویدادهای دستکاری در مناطق تولید حساس به ESD جلوگیری کنند.
• پروتکل های ارتباطات صنعتی:رابط RS-485 Modbus RTU امکان ادغام مستقیم با سیستم های نظارت بر تاسیسات نیمه هادی (FMS) و سیستم های اجرای تولید (MES) را با استفاده از پروتکل استاندارد صنعت Modbus فراهم می کند.اتصال اترنت با سرور وب جاسازی شده نظارت از راه دور مبتنی بر مرورگر را فراهم می کند، پیکربندی و دسترسی به داده ها از هر ایستگاه کاری متصل به شبکه.
• حالت های نظارت خاص نیمه هادی:پروتکل های نمونه گیری از پیش پیکربندی شده با استانداردهای SEMI E49 و E70 برای نظارت بر ذرات در محیط های تولید نیمه هادی.شبکه های نمونه گیری قابل تنظیم از نقشه برداری کارآمد بخش های تولید وافر پشتیبانی می کنند، مناطق فوتولیتوگرافی و محیط های ابزار پردازش با سازمان دهی داده های خودکار توسط خلیج، ابزار و مرحله فرآیند.

Y09-SC100 به تاسیسات تولید نیمه هادی پیشرفته در سراسر طیف گسترده ای از برنامه های نظارت بر اتاق های تمیز خدمت می کند. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldاین ابزار از نظارت مداوم در بخش های پردازش وافره برای سپرده گذاری، حکاکی، کاشت یون پشتیبانی می کند.و عملیات صاف سازی شیمیایی مکانیکی (CMP) که در آن حفظ شرایط پایدار اتاق تمیز برای کنترل فرآیند ضروری است.

امکانات بسته بندی و آزمایش نیمه هادی از Y09-SC100 برای نظارت بر اتاق های تمیز کلاس 5-8 ISO در برخورد وافره، مونتاژ فلپ چیپ و عملیات بسته بندی پیشرفته استفاده می کنند. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityتجهیزات نیمه هادی ترکیبی که دستگاه های RF، optoelectronic و قدرت را تولید می کنند از سازگاری ابزار با محیط های تخصصی اتاق تمیز بهره مند می شوند. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

هر شمارنده ذرات هوا Sujing به دقت در یک کارتن صادراتی با ورودی های فوم با چگالی بالا بسته بندی شده است تا حداکثر حفاظت را در هنگام حمل و نقل بین المللی تضمین کند.بسته بندی استاندارد شامل واحد ابزار اصلی است، سُند نمونه گیری ایزوکینتیک، آداپتور برق با کابل شارژ، فیلتر صفر، کاغذ چاپگر حرارتی، کابل ارتباطی USB، رسانه نصب نرم افزار PC، گواهی کالیبراسیونراهنمای کاربری جامعتمام محموله ها قبل از فرستادن از بازرسي کامل، از جمله تست عملکردي در تمام شش کانال ذرات، بررسي تعداد صفر،بررسی کالیبراسیون سرعت جریان، و تست رابط ارتباطات.

Sujing Instrument یک سیستم مدیریت کیفیت صدور گواهینامه ISO 9001: 2015 را با ردیابی کامل از منابع مواد اولیه تا تحویل محصول نهایی حفظ می کند.هر ابزار از آزمون های سختگیرانه ای برای تضمین کیفیت، از جمله سوزاندن 24 ساعته،ما پشتیبانی کامل پس از فروش شامل یک گارانتی استاندارد 12 ماهه را ارائه می دهیممشاوره فنی در طول عمر، پشتیبانی از تشخیص از راه دور و کالیبراسیون در محل اختیاری با خدمات تعمیر و نگهداری انجام شده توسط تکنسین های آموزش دیده در کارخانه. شبکه خدمات جهانی ما بیش از 60 کشور در سراسر جهان را پوشش می دهد.

برای صنایع تنظیم شده که نیاز به مستندات رسمی انطباق با اتاق تمیز دارند، ما بسته های پشتیبانی کامل از صلاحیت و اعتباربخشی از جمله صلاحیت نصب (IQ) ،صلاحیت عملیاتی (OQ)، و پروتکل های صلاحیت عملکرد (PQ) در صورت درخواست. تیم مهندسی برنامه های کاربردی ما در دسترس است تا با پیکربندی سفارشی و راه حل های نظارت تخصصی کمک کند.