반도체 등급 6 채널 공기 입자 카운터 316L 전자 닦은 스테인리스 스틸로 웨이퍼 팩 청정실 모니터링

반도체 등급 6채널 공기 입자 계수기 Y09-SC100

Y09-SC100 웨이퍼 제조용 반도체 등급 6채널 공기 입자 계수기

Y09-SC100 반도체 등급 6채널 공기 입자 계수기는 현대 반도체 웨이퍼 제조 시설의 탁월한 청결 요구 사항을 위해 처음부터 설계되었습니다. 중요한 형상 치수가 나노미터 단위로 측정되는 첨단 반도체 제조에서는 클린룸 환경에서 입자 수가 한 자릿수라도 집적 회로 기능을 파괴하고 생산 수율을 감소시키는 킬러 결함을 일으킬 수 있습니다. Y09-SC100은 최첨단 반도체 제조 노드에서 ISO 클래스 1(클래스 0.1) 클린룸 인증 및 모니터링 프로그램을 지원할 수 있는 정밀 입자 감지 기능과 초청정 재료 및 구조를 결합하여 이러한 문제를 해결합니다.

기기 인클로저는 탁월한 내식성, 최소한의 입자 배출 특성, 반도체 시설에 사용되는 공격적인 클린룸 세척 프로토콜과의 호환성을 위해 선택된 316L 전해연마 스테인리스 스틸로 제작되었습니다. 모든 내부 구성 요소는 초저 휘발성 유기 화합물(VOC) 가스 방출을 검사하여 포토리소그래피 공정을 손상시킬 수 있는 분자 오염을 방지합니다. Y09-SC100은 SEMI S2 및 S8 안전 인증을 획득하여 환경, 건강 및 안전 고려 사항에 대한 반도체 업계의 엄격한 장비 안전 표준을 준수함을 확인합니다. 완전 정전기 방전(ESD) 안전 설계는 생산 영역에서 모니터링 활동 중에 민감한 반도체 웨이퍼와 장치를 정전기 손상으로부터 보호합니다.

• 초청정 재료 구성:316L 전해연마 스테인리스 스틸 인클로저는 탁월한 내식성, 최소한의 입자 배출 및 공격적인 반도체 클린룸 세척 프로토콜과의 호환성을 제공합니다. 고급 포토리소그래피 및 에칭 공정을 손상시킬 수 있는 분자 오염을 방지하기 위해 초저 VOC 가스 배출을 위해 내부 구성 요소를 선택하고 테스트했습니다.
• SEMI 인증 안전 규정 준수:SEMI S2 인증은 환경, 건강 및 안전 고려사항에 대한 반도체 제조 장비 안전 지침을 준수함을 확인합니다. SEMI S8 인증은 반도체 제조 장비와 관련된 인체 공학적 엔지니어링 지침 준수를 검증하여 일상적인 모니터링 활동 중에 안전하고 효율적인 작업자 상호 작용을 보장합니다.
• 완벽한 ESD 보호:완전한 정전기 방전 안전 설계에는 전도성 하우징 재료, 접지 장치, 장비 표면에 정전기 전하 축적을 방지하는 정전기 분산 터치스크린 오버레이가 포함됩니다. 모든 외부 커넥터에는 ESD 보호 다이오드가 있어 ESD에 민감한 생산 영역에서 발생하는 처리로 인한 손상을 방지합니다.
• 산업용 통신 프로토콜:RS-485 Modbus RTU 인터페이스는 업계 표준 Modbus 프로토콜을 사용하여 반도체 시설 모니터링 시스템(FMS) 및 제조 실행 시스템(MES)과 직접 통합할 수 있습니다. 내장형 웹 서버를 통한 이더넷 연결은 네트워크에 연결된 모든 워크스테이션에서 브라우저 기반 원격 모니터링, 구성 및 데이터 액세스를 제공합니다.
• 반도체별 모니터링 모드:반도체 제조 환경에서 입자 모니터링을 위해 SEMI E49 및 E70 표준에 맞춰 사전 구성된 샘플링 프로토콜입니다. 구성 가능한 샘플링 그리드는 베이, 도구 및 프로세스 단계별 자동 데이터 구성을 통해 웨이퍼 제조 베이, 포토리소그래피 영역 및 프로세스 도구 환경의 효율적인 매핑을 지원합니다.

Y09-SC100은 모든 범위의 클린룸 모니터링 애플리케이션에 걸쳐 고급 반도체 제조 시설을 제공합니다. ISO 클래스 1-3에서 작동하는 웨이퍼 제조 클린룸에서 이 장비는 193nm 침지 및 EUV 리소그래피 도구가 공정 수율을 유지하기 위해 매우 깨끗한 환경을 요구하는 포토리소그래피 영역의 오염 제어에 필수적인 고감도 입자 모니터링을 제공합니다. 이 장비는 안정적인 클린룸 조건을 유지하는 것이 프로세스 제어에 중요한 증착, 에칭, 이온 주입 및 화학 기계적 평탄화(CMP) 작업을 위해 웨이퍼 처리 베이에서 지속적인 모니터링을 지원합니다.

반도체 패키징 및 테스트 시설에서는 웨이퍼 범핑, 플립칩 조립 및 고급 패키징 작업에서 ISO 클래스 5-8 클린룸 모니터링을 위해 Y09-SC100을 활용합니다. 포토마스크 제조 시설은 서브미크론 오염이 포토마스크 품질에 직접적인 영향을 미치는 마스크 블랭크 생산 및 패터닝 영역에서 초청정 환경 모니터링을 위해 장비를 사용합니다. RF, 광전자공학 및 전력 장치를 생산하는 복합 반도체 시설은 특수 클린룸 환경과 장비의 호환성을 통해 이점을 얻습니다. Y09-SC100은 또한 고객 제조 시설에 배송 및 설치하기 전에 프로세스 도구의 클린룸 인증 및 승인 테스트를 수행하는 반도체 장비 제조업체를 지원합니다.

각 Sujing 공기 입자 계수기는 고밀도 폼 인서트가 포함된 내구성이 뛰어난 수출 등급 상자에 조심스럽게 포장되어 국제 배송 중에 최대한의 보호를 보장합니다. 표준 포장에는 주요 기기 장치, 등속성 샘플링 프로브, 충전 케이블이 있는 전원 어댑터, 제로 카운트 필터, 열전사 프린터 용지 롤, USB 통신 케이블, PC 소프트웨어 설치 미디어, 교정 인증서, 종합 사용자 설명서 및 보호용 휴대용 케이스가 포함됩니다. 모든 배송품은 6개 입자 채널 전체에 대한 기능 테스트, 제로 카운트 확인, 유속 보정 확인 및 통신 인터페이스 테스트를 포함한 철저한 배송 전 검사를 거칩니다.

Sujing Instrument는 원료 소싱부터 최종 제품 배송까지 완벽한 추적성을 갖춘 ISO 9001:2015 인증 품질 관리 시스템을 유지합니다. 각 장비는 출시 전 24시간 번인(burn-in), 다지점 교정 검증, 전체 기능 검증 등 엄격한 품질 보증 테스트를 거칩니다. 우리는 12개월 표준 보증, 평생 기술 컨설팅, 원격 진단 지원, 공장에서 교육을 받은 기술자가 수행하는 유지 관리 서비스를 통한 현장 교정 옵션 등 포괄적인 애프터 서비스 지원을 제공합니다. 당사의 글로벌 서비스 네트워크는 전 세계 60개국 이상을 포괄합니다.

공식적인 클린룸 규정 준수 문서가 필요한 규제 산업의 경우 당사는 요청 시 설치 적격성(IQ), 운영 적격성(OQ) 및 성능 적격성(PQ) 프로토콜을 포함한 완벽한 적격성 평가 및 검증 지원 패키지를 제공합니다. 당사의 애플리케이션 엔지니어링 팀은 맞춤형 구성 및 전문 모니터링 솔루션을 지원해 드립니다.