Zeskanaals luchtdeeltjesteller van halfgeleiderklasse met 316L elektropolies roestvrij staal voor Wafer Fab Cleanroom Monitoring

Zeskanaals luchtdeeltjesteller voor halfgeleiders Y09-SC100

Y09-SC100 Zeskanaals luchtdeeltjesteller voor waferfabrieken van halfgeleiderklasse

De Y09-SC100 halfgeleider kwaliteit zes-kanaal luchtdeeltjes teller is ontworpen vanaf de grond voor de buitengewone zuiverheid eisen van de moderne halfgeleider wafer fabricage faciliteiten.In geavanceerde halfgeleiderproductie waarbij de afmetingen van kritieke kenmerken in nanometers worden gemeten,Zelfs één-cijferige deeltjes in een cleanroom omgeving kunnen dodelijke defecten veroorzaken die de functionaliteit van geïntegreerde schakelingen vernietigen en de productieopbrengst verminderenDe Y09-SC100 beantwoordt deze uitdaging door ultra-schone materialen en constructie te combineren met nauwkeurige deeltjesdetectie die ISO-klasse 1 (klasse 0.1) kan ondersteunen.1) programma's voor cleanroomcertificering en -bewaking in de meest geavanceerde knooppunten voor de productie van halfgeleiders.

De instrumentenkast is vervaardigd van 316L elektropolies roestvrij staal, geselecteerd voor zijn uitzonderlijke corrosiebestendigheid, minimale deeltjesverlies,en compatibiliteit met de agressieve schoonruimte reiniging protocollen gebruikt in halfgeleider faciliteitenAlle interne componenten worden gescreend op ultra-lage uitgassing van vluchtige organische verbindingen (VOC) om moleculaire besmetting te voorkomen die de fotolithografieprocessen in gevaar kan brengen.De Y09-SC100 is voorzien van SEMI-S2- en S8-veiligheidscertificaten, waarbij de naleving van de strenge veiligheidsnormen voor apparatuur in de halfgeleiderindustrie wordt bevestigd om milieuvriendelijke, gezondheids- en veiligheidsredenen.Een veilig ontwerp voor volledige elektrostatische ontlading (ESD) beschermt gevoelige halfgeleiderplaten en -apparaten tegen elektrostatische schade tijdens monitoring in productiegebieden.

• Constructie met ultrazuivere materialen:316L elektropolies roestvrij staal behuizing biedt uitzonderlijke corrosiebestendigheid, minimale deeltjesverlies, en compatibiliteit met agressieve halfgeleider cleanroom reiniging protocollen.Interne componenten worden geselecteerd en getest op ultralage VOC-uitgassing om moleculaire besmetting te voorkomen die geavanceerde fotolithografie- en etseringsprocessen in gevaar kan brengen.
• SEMI-gecertificeerde conformiteit met de veiligheid:SEMI S2-certificering bevestigt de naleving van de veiligheidsrichtlijnen voor semiconductorproductieapparatuur om milieuvriendelijke, gezondheids- en veiligheidsoverwegingen.SEMI S8-certificering verifieert de naleving van ergonomische technische richtlijnen die specifiek zijn voor apparatuur voor de vervaardiging van halfgeleiders, waarbij de beveiligde en efficiënte interactie van de exploitant tijdens de routinecontroleactiviteiten wordt gewaarborgd.
• Volledige ESD-bescherming:Volledige elektrostatische ontlading veilig ontwerp omvat geleidende behuizing materialen, aarding voorzieningen,een statisch-dissipatief touchscreen-overlay dat de ophoping van elektrostatische lading op instrumentoppervlakken voorkomtAlle externe connectoren zijn voorzien van ESD-beschermingsdioden om schade te voorkomen door het omgaan met gebeurtenissen in ESD-gevoelige productiegebieden.
• Industriële communicatieprotocollen:RS-485 Modbus RTU-interface maakt directe integratie mogelijk met halfgeleiderfaciliteitsbewakingssystemen (FMS) en productie-uitvoeringssystemen (MES) met behulp van het industriestandaard Modbus-protocol.Ethernet-connectiviteit met ingebedde webserver zorgt voor browsergebaseerde afstandsbewaking, configuratie en gegevenstoegang vanaf elk aan het netwerk aangesloten werkstation.
• "Technologie" bedoeld in 1C001.a., 1C001.b., 1C001.c. of 1C001.c.Voorgeconfigureerde bemonsteringsprotocollen die zijn afgestemd op de SEMI-normen E49 en E70 voor de monitoring van deeltjes in de productieomgeving van halfgeleiders.Configureerbare bemonsteringsroosters ondersteunen een efficiënte mapping van waferfabrieksruimtes, fotolithografie gebieden, en proces tool omgevingen met automatische gegevens organisatie door baai, gereedschap, en proces stap.

De Y09-SC100 bedient geavanceerde halfgeleiderfabrieken in de volledige reeks cleanroom monitoring toepassingen. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldHet instrument ondersteunt continue monitoring in waferverwerkingsruimten voor afzetting, etsen, ionenimplantatie,en chemische mechanische platvorming (CMP) waarbij het handhaven van stabiele schoonkameromstandigheden van cruciaal belang is voor de procescontrole.

De Y09-SC100 wordt gebruikt voor het monitoren van ISO-klasse 5-8 cleanroom in waferbumping, flip-chip assemblage en geavanceerde verpakkingswerkzaamheden. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask quality• samengestelde halfgeleiderinstallaties voor de productie van RF-, opto-elektronica- en energieapparaten profiteren van de compatibiliteit van het instrument met gespecialiseerde cleanroomomgevingen. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

Elke Sujing luchtdeeltjesteller is zorgvuldig verpakt in een duurzame exportkarton met hoogdichte schuiminzetstukken die maximale bescherming garanderen tijdens internationale verzending.De standaardverpakking omvat de belangrijkste instrumenten, isokinetische bemonsteringssonde, voedingsadapter met laadkabel, nulfilter, thermische printerpapierrol, USB-communicatiekabel, installatiemedia voor pc-software, kalibratiecertificaat,uitgebreide gebruikershandleidingAlle zendingen ondergaan een grondige inspectie voorafgaand aan verzending, inclusief functionele testen in alle zes deeltjeskanalen, verificatie van de nul-telling,controle van de kalibratie van de doorstroming, en het testen van de communicatie-interface.

Sujing Instrument onderhoudt een ISO 9001:2015 gecertificeerd kwaliteitsmanagementsysteem met volledige traceerbaarheid van de grondstofbron tot de levering van het eindproduct.Elk instrument ondergaat strenge kwaliteitscontroles, waaronder een 24-uurs burn-in.We bieden uitgebreide after-sales ondersteuning inclusief een standaard garantie van 12 maanden.levenslang technisch adviesHet netwerk van onze klanten en consumenten omvat meer dan 60 landen over de hele wereld.

Voor gereguleerde industrieën die formele cleanroom-nalevingsdocumenten vereisen, bieden wij volledige kwalificatie- en validatieondersteuningspakketten, waaronder Installatie-kwalificatie (IQ),Operationeel diploma (OQ)Onze applicatieteam is beschikbaar om u te helpen met aangepaste configuraties en gespecialiseerde monitoringoplossingen.