Półprzewodnikowy sześciokanałowy licznik cząstek powietrza z 316L elektropolitykowanej stali nierdzewnej do monitorowania czystości w fabryce płytek

Półprzewodnikowy sześciokanałowy licznik cząstek powietrza Y09-SC100

Y09-SC100 Sześciokanałowy licznik cząstek powietrza półprzewodnikowy klasy dla płytek fabrycznych

Y09-SC100 półprzewodnikowy stopień sześciokanałowy licznik cząstek powietrza jest zaprojektowany od podstaw dla nadzwyczajnych wymagań czystości nowoczesnych instalacji produkcji płyt półprzewodnikowych.W zaawansowanej produkcji półprzewodników, w których wymiary krytycznych cech są mierzone w nanometrach,Nawet jednomierzowa liczba cząstek w czystym pomieszczeniu może powodować zabójcze wady, które niszczą funkcjonalność układu scalonego i zmniejszają wydajność produkcji.Y09-SC100 radzi sobie z tym wyzwaniem, łącząc ultraczyste materiały i konstrukcję z precyzyjnym wykrywaniem cząstek stałych, zdolnym do obsługi klasy ISO 1 (klasa 0.1) programy certyfikacji i monitorowania czystych pomieszczeń w najbardziej zaawansowanych węzłach produkcji półprzewodników.

Obudowa przyrządów jest wykonana z elektrolizowanej stali nierdzewnej 316L, wybranej ze względu na wyjątkową odporność na korozję, minimalne właściwości zrzucania cząstek,i zgodność z agresywnymi protokołami czyszczenia pomieszczeń czystego stosowanymi w instalacjach półprzewodnikowychWszystkie wewnętrzne komponenty są kontrolowane pod kątem ultra niskiej emisji lotnych związków organicznych (VOC), aby zapobiec zanieczyszczeniu molekularnemu, które może zagrozić procesom fotolitografii.Y09-SC100 posiada certyfikaty bezpieczeństwa SEMI S2 i S8, potwierdzające zgodność z rygorystycznymi normami bezpieczeństwa sprzętu w przemyśle półprzewodnikowym ze względów środowiskowych, zdrowotnych i bezpieczeństwa.Bezpieczna konstrukcja całkowitego rozładowania elektrostatycznego (ESD) chroni wrażliwe płytki półprzewodnikowe i urządzenia przed uszkodzeniami elektrostatycznymi podczas działań monitorujących w obszarach produkcyjnych.

• Budowa z ultraczystego materiału:316L elektropolityczna obudowa ze stali nierdzewnej zapewnia wyjątkową odporność na korozję, minimalne zrzuty cząstek i kompatybilność z agresywnymi protokołami czyszczenia półprzewodników.Komponenty wewnętrzne są wybierane i testowane pod kątem bardzo niskiego wydzielania gazów VOC w celu zapobiegania zanieczyszczeniu molekularnemu, które może zagrozić zaawansowanym procesom fotolitografii i etsu.
• Certyfikowana zgodność z zasadami bezpieczeństwa SEMI:Certyfikacja SEMI S2 potwierdza zgodność z wytycznymi dotyczącymi bezpieczeństwa sprzętu produkującego półprzewodniki z uwagi na kwestie środowiskowe, zdrowotne i bezpieczeństwa.Certyfikacja SEMI S8 weryfikuje zgodność z wytycznymi ergonomicznymi dotyczącymi urządzeń produkujących półprzewodniki, zapewniając bezpieczną i skuteczną interakcję operatora podczas rutynowych działań monitorujących.
• Całkowita ochrona ESD:Całkowita konstrukcja bezpiecznego wyładowania elektrostatycznego obejmuje materiały przewodzące obudowy, zabezpieczenia uziemienia,i nakładek ekranu dotykowego statycznie rozpraszającego, który zapobiega akumulacji ładunku elektrostatycznego na powierzchni przyrząduWszystkie zewnętrzne złącza wyposażone są w diody ochronne ESD w celu zapobiegania uszkodzeniom spowodowanym działaniem w obszarach produkcyjnych wrażliwych na ESD.
• Protokoły komunikacji przemysłowej:Interfejs RS-485 Modbus RTU umożliwia bezpośrednią integrację z systemami monitorowania instalacji półprzewodnikowych (FMS) i systemami wykonywania produkcji (MES) przy użyciu standardowego protokołu Modbus.Połączenie Ethernet z wbudowanym serwerem internetowym zapewnia zdalne monitorowanie oparte na przeglądarce, konfiguracji i dostępu do danych z dowolnej stacji roboczej podłączonej do sieci.
• Moduły monitorowania specyficznego dla półprzewodnika:Protokoły pobierania próbek pre-konfigurowane zgodnie ze standardami SEMI E49 i E70 do monitorowania cząstek w środowiskach produkcji półprzewodników.Konfiguracyjne sieci pobierania próbek wspierają efektywne mapowanie obszarów produkcji płytek, obszarów fotolitografii i środowisk narzędziowych procesów z automatyczną organizacją danych według ławki, narzędzia i etapu procesu.

Y09-SC100 obsługuje zaawansowane urządzenia produkcyjne półprzewodników w całym zakresie zastosowań monitorowania pomieszczeń czystych. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldInstrument obsługuje ciągłe monitorowanie w płytach przetwarzania płytek do osadzania, grafowania, implantacji jonów,i chemiczne mechaniczne planowanie (CMP), w których utrzymanie stabilnych warunków w czystych pomieszczeniach ma kluczowe znaczenie dla kontroli procesu.

Półprzewodnikowe urządzenia opakowaniowe i testowe wykorzystują Y09-SC100 do monitorowania czystych pomieszczeń klasy ISO 5-8 w przypadku uderzeń płytek, montażu chipów flip-chip i zaawansowanych operacji opakowaniowych. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityZwiązane urządzenia półprzewodnikowe produkujące urządzenia RF, optoelektroniczne i energetyczne korzystają z kompatybilności instrumentu ze specjalistycznymi środowiskami czystych pomieszczeń. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

Każdy licznik cząstek powietrza Sujing jest starannie pakowany w trwały karton eksportowy z wysoką gęstością foliową zapewniającą maksymalną ochronę podczas transportu międzynarodowego.Standardowe opakowanie obejmuje główną jednostkę przyrządu, sonda do pobierania próbek izokinetycznych, adapter zasilania z kablem ładowania, filtr zerowy, rolka papieru do drukarki termicznej, kabel komunikacyjny USB, nośnik instalacji oprogramowania PC, certyfikat kalibracji,kompleksowa instrukcja obsługiWszystkie przesyłki są poddawane gruntownej kontroli przed wysyłką, w tym testom funkcjonalnym we wszystkich sześciu kanałach cząstek stałych, weryfikacji zerowej liczby,kontrola kalibracji przepływu, oraz testowanie interfejsów komunikacyjnych.

Firma Sujing Instrument utrzymuje certyfikowany system zarządzania jakością ISO 9001:2015 z pełną identyfikowalnością od pozyskiwania surowców po dostawę produktu końcowego.Każdy przyrząd podlega rygorystycznym testom zapewnienia jakości, w tym 24-godzinnym wypaleniomZapewniamy kompleksową obsługę posprzedażową, w tym 12-miesięczną gwarancję standardową.doradztwo techniczne przez całe życieNasza globalna sieć serwisowa obejmuje ponad 60 krajów na całym świecie.

Dla regulowanych gałęzi przemysłu wymagających formalnej dokumentacji zgodności z procedurami czystych pomieszczeń dostarczamy kompletne pakiety wsparcia w zakresie kwalifikacji i walidacji, w tym kwalifikacje instalacyjne (IQ),Kwalifikacje operacyjne (OQ)Nasz zespół inżynierów aplikacji jest do dyspozycji, aby pomóc w konfiguracjach niestandardowych i wyspecjalizowanych rozwiązaniach monitorowania.