เครื่องนับอนุภาคอากาศ 6 ช่องประเภทครึ่งประสาท พร้อมเหล็กไร้สแตนเลส 316L ที่เคลือบไฟฟ้าสําหรับการติดตามห้องสะอาด Wafer Fab

เครื่องนับอนุภาคอากาศ 6 ช่อง ระดับครึ่งตัวนํา Y09-SC100

Y09-SC100 เครื่องนับอนุภาคอากาศ 6 ช่อง ประเภทครึ่งตัวนํา

เครื่องนับอนุภาคอากาศระดับหกช่อง Y09-SC100 Semiconductor Grade ถูกออกแบบจากพื้นที่ขึ้นสําหรับความต้องการความสะอาดที่พิเศษของอํานวยความสะอาดของอํานวยความสะอาดการผลิตแผ่น semiconductor ใหม่.ในการผลิตครึ่งประสาทที่พัฒนามากขึ้นที่ขนาดของลักษณะที่สําคัญจะวัดในนาโนเมตรแม้แต่จํานวนอนุภาคที่มีตัวเลขเดียวในสภาพแวดล้อมห้องสะอาด ก็สามารถทําให้เกิดความบกพร่องที่ทําลายฟังก์ชันของวงจรบูรณาการ และลดผลผลิตY09-SC100 ตอบโจทย์กับโจทย์นี้โดยการรวมวัสดุและการสร้างที่สะอาดสุด ๆ กับการตรวจจับอนุภาคความแม่นยําที่สามารถรองรับ ISO Class 1 (Class 0.1) โปรแกรมรับรองห้องสะอาดและการติดตามที่หน่วยงานผลิตครึ่งตัวนําที่ทันสมัยที่สุด.

กล่องเครื่องมือถูกผลิตจากเหล็กไร้ขัดเหล็ก 316 ลิตร ที่เคลือบด้วยไฟฟ้าและความเหมาะสมกับโปรโตคอลการทําความสะอาดห้องสะอาดที่รุนแรงที่ใช้ในอุปกรณ์ครึ่งตัวนําองค์ประกอบภายในทั้งหมดถูกกรองสําหรับการออกก๊าซของสารประกอบอินทรีย์ลอยน้อย (VOC) เพื่อป้องกันการปนเปื้อนโมเลกุลที่สามารถเสี่ยงกระบวนการถ่ายภาพY09-SC100 มีการรับรองความปลอดภัย SEMI S2 และ S8, ยืนยันความสอดคล้องกับมาตรฐานความปลอดภัยอุปกรณ์ที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมครึ่งประสาทการออกแบบที่ปลอดภัยของการปล่อยไฟฟ้าสติกเต็ม (ESD) ป้องกันแผ่นและอุปกรณ์ครึ่งประจุไฟฟ้าที่มีความรู้สึกจากความเสียหายทางไฟฟ้าสติกระหว่างกิจกรรมการติดตามในพื้นที่การผลิต.

• การสร้างจากวัสดุที่สะอาดมากกล่องเหล็กไร้ขัดเหล็ก 316L ที่เคลือบด้วยไฟฟ้า ให้ความทนทานต่อการกัดกรองอย่างดีเยี่ยม การปล่อยอนุภาคอย่างน้อย และเข้ากันได้กับโปรโตคอลการทําความสะอาดห้องสะอาดครึ่งประสาทองค์ประกอบภายในถูกเลือกและทดสอบสําหรับการออกก๊าซของ VOC ที่ต่ํามาก เพื่อป้องกันการปนเปื้อนโมเลกุลที่อาจเสี่ยงต่อกระบวนการถ่ายภาพและการฉลากที่ทันสมัย.
• การปฏิบัติตามความปลอดภัยที่ได้รับการรับรองจาก SEMIการรับรอง SEMI S2 ยืนยันความเป็นไปตามแนวทางความปลอดภัยของอุปกรณ์ผลิตครึ่งประสาท สําหรับสิ่งแวดล้อม สุขภาพและความปลอดภัยการรับรอง SEMI S8 ยืนยันการปฏิบัติตามแนวทางวิศวกรรม ergonomics ที่เฉพาะสําหรับอุปกรณ์ผลิตครึ่งตัวนําการประกันการปฏิสัมพันธ์ของผู้ประกอบการที่ปลอดภัยและมีประสิทธิภาพ ระหว่างกิจกรรมการติดตามประจําวัน
• การป้องกัน ESD อย่างเต็มที่การออกแบบที่ปลอดภัยสําหรับการปล่อยไฟฟ้าแบบเต็มระบบรวมถึงวัสดุที่นําไฟฟ้าและการเคลือบหน้าจอสัมผัสแบบสแตตติก-ระบายที่ป้องกันการสะสมชาร์จไฟฟ้าสแตตติกบนพื้นผิวเครื่องมือสายเชื่อมภายนอกทั้งหมดมีไดโอ้ป้องกัน ESD เพื่อป้องกันความเสียหายจากการจัดการกับเหตุการณ์ในพื้นที่การผลิตที่มีความรู้สึกต่อ ESD
• โปรโตคอลสื่อสารอุตสาหกรรม:อินเตอร์เฟซ RS-485 Modbus RTU ทําให้สามารถบูรณาการโดยตรงกับระบบการติดตามสถานที่ครึ่งตัวนํา (FMS) และระบบการดําเนินการผลิต (MES) โดยใช้โปรโตคอล Modbus มาตรฐานของอุตสาหกรรมการเชื่อมต่อ Ethernet กับเว็บเซอร์เวอร์ที่ฝังไว้ ให้บริการการติดตามทางไกลที่พับฐานในบราว์เซอร์, การตั้งค่า และการเข้าถึงข้อมูลจากสถานีทํางานที่เชื่อมต่อกับเครือข่ายใด ๆ
• รูปแบบการติดตามเฉพาะครึ่งตัวนํา:โปรต็อกอลการเก็บตัวอย่างที่ตั้งค่าล่วงหน้าที่สอดคล้องกับมาตรฐาน SEMI E49 และ E70 สําหรับการติดตามอนุภาคในสภาพแวดล้อมการผลิตครึ่งตัวนํากรดตัวอย่างที่สามารถตั้งค่าได้ สนับสนุนการแผนที่ที่ประสิทธิภาพของช่องการผลิตแผ่น, พื้นที่ photolithography, และสภาพแวดล้อมเครื่องมือการประมวลผลที่มีการจัดการข้อมูลอัตโนมัติโดยช่อง, เครื่องมือ, และขั้นตอนการประมวลผล

Y09-SC100 ให้บริการอํานวยความสะดวกในการผลิตครึ่งประสาทที่ก้าวหน้าในช่วงที่ครบวงจรของการติดตามห้องสะอาด the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldอุปกรณ์นี้รองรับการติดตามต่อเนื่องในเขตแปรรูปโฟร์สําหรับการฝาก, การถัก, การฝังไอออน,และการดําเนินงานการปรับปรุงความเรียบเรียงทางกลเคมี (CMP) ที่การรักษาสภาพห้องสะอาดที่มั่นคงเป็นสิ่งสําคัญในการควบคุมกระบวนการ.

สถานที่บรรจุและทดสอบครึ่งประสาทใช้ Y09-SC100 สําหรับการติดตามห้องสะอาดระดับ ISO Class 5-8 ในการบัมป์เวฟเฟอร์, การประกอบชิปแฟลปและการประกอบการบรรจุที่ระดับสูง Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityอุปกรณ์ประกอบครึ่งประสาทผลิต RF, optoelectronic และอุปกรณ์พลังงานได้รับประโยชน์จากความสอดคล้องของเครื่องมือกับสภาพแวดล้อมห้องสะอาดเฉพาะ The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

เครื่องวัดอนุภาคอากาศของ Sujing ทุกตัวถูกบรรจุไว้อย่างรอบคอบในกล่องคาร์ตันระดับการส่งออกที่ทนทานแพ็คเกจมาตรฐานรวมหน่วยเครื่องมือหลัก, โซนส์การสกัดตัวอย่าง isokinetic, แอดป์เตอร์พลังงานพร้อมเคเบิลการชาร์จ, เครื่องกรองศูนย์, หนังสือพิมพ์ร้อน, เคเบิลสื่อสาร USB, สื่อการติดตั้งโปรแกรม PC, ใบรับรองการปรับคู่มือการใช้งานที่ครบถ้วนและกระเป๋าขนของป้องกัน ทุกการส่งผ่านการตรวจสอบอย่างละเอียด ก่อนการส่ง รวมถึงการทดสอบการทํางานการตรวจสอบการปรับระดับอัตราการไหลและการทดสอบอินเตอร์เฟซการสื่อสาร

Sujing Instrument มีระบบบริหารคุณภาพที่ได้รับการรับรองจาก ISO 9001: 2015 โดยสามารถติดตามได้อย่างสมบูรณ์แบบจากแหล่งที่มาของวัสดุแท้จนถึงการจัดส่งสินค้าสุดท้ายอุปกรณ์แต่ละเครื่องได้รับการทดสอบการประกันคุณภาพอย่างเข้มงวด รวมถึงการเผาไหม้ใน 24 ชั่วโมงเราให้การสนับสนุนหลังการขายครบวงจร รวมถึงการรับประกันมาตรฐาน 12 เดือนการให้คําปรึกษาทางเทคนิคตลอดชีวิต, การสนับสนุนการวินิจฉัยทางไกล, และการปรับขนาดในสถานที่เป็นตัวเลือกด้วยบริการบํารุงรักษาโดยเทคนิคที่ได้รับการฝึกอบรมในโรงงาน. เครือข่ายบริการโลกของเราครอบคลุมกว่า 60 ประเทศทั่วโลก.

สําหรับอุตสาหกรรมที่ถูกกําหนดที่ต้องการเอกสารการปฏิบัติตามห้องสะอาดอย่างเป็นทางการ เราให้บริการแพคเกจการรองรับคุณสมบัติและการรับรองที่สมบูรณ์แบบ รวมถึงคุณสมบัติการติดตั้ง (IQ)คุณสมบัติปฏิบัติการ (OQ), และโปรโตคอลการประเมินผลงาน (PQ) ตามคําขอทีมงานวิศวกรรมการใช้งานของเราพร้อมที่จะช่วยในการตั้งค่าตามสั่งและแก้ไขการติดตามเฉพาะเจาะจง