Μετρητής σωματιδίων αέρα κατηγορίας έξι καναλιών ημιαγωγών με ηλεκτρολυμένο ανοξείδωτο ατσάλι 316 λίτρων για παρακολούθηση καθαριστικού χώρου Wafer Fab

Μετρητής σωματιδίων αέρα ημιαγωγού κατηγορίας έξι καναλιών Y09-SC100

Y09-SC100 Μετρητής σωματιδίων αέρα κατηγορίας έξι καναλιών ημιαγωγών για Wafer Fab

Ο μετρητής σωματιδίων αέρα κατηγορίας έξι καναλιών ημιαγωγών Y09-SC100 έχει σχεδιαστεί από την αρχή για τις εξαιρετικές απαιτήσεις καθαριότητας των σύγχρονων εγκαταστάσεων κατασκευής γκοφρετών ημιαγωγών. Στην προηγμένη κατασκευή ημιαγωγών όπου οι κρίσιμες διαστάσεις χαρακτηριστικών μετρώνται σε νανόμετρα, ακόμη και οι μονοψήφιοι αριθμοί σωματιδίων στο περιβάλλον καθαρού δωματίου μπορεί να προκαλέσουν σοβαρά ελαττώματα που καταστρέφουν τη λειτουργικότητα του ολοκληρωμένου κυκλώματος και μειώνουν την απόδοση παραγωγής. Το Y09-SC100 αντιμετωπίζει αυτήν την πρόκληση συνδυάζοντας εξαιρετικά καθαρά υλικά και κατασκευή με ανίχνευση σωματιδίων ακριβείας ικανή να υποστηρίζει προγράμματα πιστοποίησης και παρακολούθησης καθαρού χώρου ISO Class 1 (Class 0.1) στους πιο προηγμένους κόμβους κατασκευής ημιαγωγών.

Το περίβλημα του οργάνου είναι κατασκευασμένο από ηλεκτρογυαλισμένο ανοξείδωτο χάλυβα 316L, επιλεγμένο για την εξαιρετική του αντοχή στη διάβρωση, τα ελάχιστα χαρακτηριστικά απόρριψης σωματιδίων και τη συμβατότητα με τα επιθετικά πρωτόκολλα καθαρισμού καθαρισμού που χρησιμοποιούνται σε εγκαταστάσεις ημιαγωγών. Όλα τα εσωτερικά εξαρτήματα ελέγχονται για εξαιρετικά χαμηλή εξάτμιση πτητικών οργανικών ενώσεων (VOC) για να αποφευχθεί η μοριακή μόλυνση που μπορεί να θέσει σε κίνδυνο τις διαδικασίες φωτολιθογραφίας. Το Y09-SC100 φέρει πιστοποιήσεις ασφαλείας SEMI S2 και S8, επιβεβαιώνοντας τη συμμόρφωση με τα αυστηρά πρότυπα ασφάλειας εξοπλισμού της βιομηχανίας ημιαγωγών για λόγους περιβάλλοντος, υγείας και ασφάλειας. Ο ασφαλής σχεδιασμός πλήρους ηλεκτροστατικής εκφόρτισης (ESD) προστατεύει τις ευαίσθητες γκοφρέτες ημιαγωγών και τις συσκευές από ηλεκτροστατική βλάβη κατά τη διάρκεια δραστηριοτήτων παρακολούθησης στους χώρους παραγωγής.

• Κατασκευή εξαιρετικά καθαρών υλικών:Το περίβλημα από ηλεκτρογυαλισμένο ανοξείδωτο ατσάλι 316L παρέχει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, ελάχιστη απόρριψη σωματιδίων και συμβατότητα με επιθετικά πρωτόκολλα καθαρισμού καθαρού χώρου ημιαγωγών. Τα εσωτερικά εξαρτήματα επιλέγονται και ελέγχονται για εξαιρετικά χαμηλές εκπομπές VOC για την αποφυγή μοριακής μόλυνσης που μπορεί να θέσει σε κίνδυνο τις προηγμένες διαδικασίες φωτολιθογραφίας και χάραξης.
• Πιστοποιημένη συμμόρφωση με την ασφάλεια SEMI:Η πιστοποίηση SEMI S2 επιβεβαιώνει τη συμμόρφωση με τις οδηγίες ασφάλειας του εξοπλισμού κατασκευής ημιαγωγών για λόγους περιβάλλοντος, υγείας και ασφάλειας. Η πιστοποίηση SEMI S8 επαληθεύει τη συμμόρφωση με τις οδηγίες εργονομικής μηχανικής που αφορούν ειδικά τον εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών, διασφαλίζοντας την ασφαλή και αποτελεσματική αλληλεπίδραση του χειριστή κατά τη διάρκεια δραστηριοτήτων ρουτίνας παρακολούθησης.
• Πλήρης προστασία ESD:Ο ασφαλής σχεδιασμός πλήρους ηλεκτροστατικής εκφόρτισης περιλαμβάνει αγώγιμα υλικά περιβλήματος, διατάξεις γείωσης και επικάλυψη οθόνης αφής με στατική διάχυση που αποτρέπει τη συσσώρευση ηλεκτροστατικού φορτίου στις επιφάνειες του οργάνου. Όλες οι εξωτερικές υποδοχές διαθέτουν διόδους προστασίας ESD για την αποφυγή ζημιών από το χειρισμό συμβάντων σε περιοχές παραγωγής που είναι ευαίσθητες στο ESD.
• Πρωτόκολλα Βιομηχανικής Επικοινωνίας:Η διεπαφή RS-485 Modbus RTU επιτρέπει την άμεση ενοποίηση με συστήματα παρακολούθησης εγκαταστάσεων ημιαγωγών (FMS) και συστήματα εκτέλεσης παραγωγής (MES) χρησιμοποιώντας το βιομηχανικό πρότυπο πρωτόκολλο Modbus. Η συνδεσιμότητα Ethernet με ενσωματωμένο διακομιστή Ιστού παρέχει απομακρυσμένη παρακολούθηση, διαμόρφωση και πρόσβαση δεδομένων βάσει προγράμματος περιήγησης από οποιονδήποτε σταθμό εργασίας συνδεδεμένο στο δίκτυο.
• Λειτουργίες παρακολούθησης ειδικών για ημιαγωγούς:Προδιαμορφωμένα πρωτόκολλα δειγματοληψίας ευθυγραμμισμένα με τα πρότυπα SEMI E49 και E70 για παρακολούθηση σωματιδίων σε περιβάλλοντα παραγωγής ημιαγωγών. Τα διαμορφώσιμα πλέγματα δειγματοληψίας υποστηρίζουν την αποτελεσματική χαρτογράφηση των θέσεων κατασκευής πλακιδίων, περιοχών φωτολιθογραφίας και περιβαλλόντων εργαλείων διεργασίας με αυτόματη οργάνωση δεδομένων ανά θέση, εργαλείο και βήμα διαδικασίας.

Το Y09-SC100 εξυπηρετεί προηγμένες εγκαταστάσεις κατασκευής ημιαγωγών σε όλο το φάσμα των εφαρμογών παρακολούθησης καθαρού δωματίου. Σε καθαρούς χώρους κατασκευής πλακιδίων που λειτουργούν σε Κλάση ISO 1-3, το όργανο παρέχει την παρακολούθηση σωματιδίων υψηλής ευαισθησίας που είναι απαραίτητη για τον έλεγχο της μόλυνσης σε περιοχές φωτολιθογραφίας όπου τα εργαλεία εμβάπτισης 193 nm και λιθογραφίας EUV απαιτούν εξαιρετικά καθαρά περιβάλλοντα για τη διατήρηση της απόδοσης της διαδικασίας. Το όργανο υποστηρίζει συνεχή παρακολούθηση σε θέσεις επεξεργασίας πλακιδίων για εναπόθεση, χάραξη, εμφύτευση ιόντων και λειτουργίες χημικής μηχανικής επιπεδοποίησης (CMP) όπου η διατήρηση σταθερών συνθηκών καθαρού δωματίου είναι κρίσιμη για τον έλεγχο της διαδικασίας.

Οι εγκαταστάσεις συσκευασίας και δοκιμών ημιαγωγών χρησιμοποιούν το Y09-SC100 για παρακολούθηση καθαρού χώρου ISO κλάσης 5-8 σε εργασίες αναρρόφησης πλακιδίων, συναρμολόγησης flip-chip και προηγμένων εργασιών συσκευασίας. Οι εγκαταστάσεις κατασκευής φωτομάσκας χρησιμοποιούν το όργανο για παρακολούθηση εξαιρετικά καθαρού περιβάλλοντος σε περιοχές παραγωγής κενού μάσκας και διαμόρφωσης μοτίβων όπου η μόλυνση από μικρότερο του μικρού επηρεάζει άμεσα την ποιότητα της φωτομάσκας. Οι εγκαταστάσεις σύνθετων ημιαγωγών που παράγουν συσκευές ραδιοσυχνοτήτων, οπτοηλεκτρονικές και ηλεκτρικές συσκευές επωφελούνται από τη συμβατότητα του οργάνου με εξειδικευμένα περιβάλλοντα καθαρού δωματίου. Το Y09-SC100 υποστηρίζει επίσης κατασκευαστές εξοπλισμού ημιαγωγών που εκτελούν δοκιμές πιστοποίησης καθαρού χώρου και αποδοχής εργαλείων διεργασίας πριν από την αποστολή και την εγκατάσταση σε εγκαταστάσεις κατασκευής πελατών.

Κάθε μετρητής σωματιδίων αέρα Sujing συσκευάζεται προσεκτικά σε ένα ανθεκτικό χαρτοκιβώτιο ποιότητας εξαγωγής με ένθετα αφρού υψηλής πυκνότητας που εξασφαλίζουν μέγιστη προστασία κατά τη διεθνή αποστολή. Η τυπική συσκευασία περιλαμβάνει την κύρια μονάδα οργάνων, ισοκινητικό αισθητήρα δειγματοληψίας, μετασχηματιστή ρεύματος με καλώδιο φόρτισης, φίλτρο μηδενικού αριθμού, θερμικό ρολό χαρτιού εκτυπωτή, καλώδιο επικοινωνίας USB, μέσα εγκατάστασης λογισμικού υπολογιστή, πιστοποιητικό βαθμονόμησης, πλήρες εγχειρίδιο χρήστη και προστατευτική θήκη μεταφοράς. Όλες οι αποστολές υποβάλλονται σε ενδελεχή επιθεώρηση πριν από την αποστολή, συμπεριλαμβανομένων λειτουργικών δοκιμών και στα έξι κανάλια σωματιδίων, επαλήθευσης μηδενικού αριθμού, ελέγχου βαθμονόμησης ρυθμού ροής και δοκιμής διεπαφής επικοινωνίας.

Η Sujing Instrument διατηρεί σύστημα διαχείρισης ποιότητας πιστοποιημένο κατά ISO 9001:2015 με πλήρη ιχνηλασιμότητα από την προμήθεια πρώτων υλών μέχρι την παράδοση του τελικού προϊόντος. Κάθε όργανο υποβάλλεται σε αυστηρές δοκιμές διασφάλισης ποιότητας, συμπεριλαμβανομένων 24ωρης καύσης, επαλήθευσης βαθμονόμησης πολλαπλών σημείων και πλήρους λειτουργικής επικύρωσης πριν από την κυκλοφορία. Παρέχουμε ολοκληρωμένη υποστήριξη μετά την πώληση, συμπεριλαμβανομένης τυπικής εγγύησης 12 μηνών, τεχνικής συμβουλής εφ' όρου ζωής, απομακρυσμένης διαγνωστικής βοήθειας και προαιρετικής επιτόπιας βαθμονόμησης με υπηρεσίες συντήρησης που εκτελούνται από εργοστασιακά εκπαιδευμένους τεχνικούς. Το παγκόσμιο δίκτυο υπηρεσιών μας καλύπτει περισσότερες από 60 χώρες σε όλο τον κόσμο.

Για τις ρυθμιζόμενες βιομηχανίες που απαιτούν επίσημη τεκμηρίωση συμμόρφωσης καθαρού χώρου, παρέχουμε πλήρη πακέτα υποστήριξης πιστοποίησης και επικύρωσης, συμπεριλαμβανομένων πρωτοκόλλων Installation Qualification (IQ), Operational Qualification (OQ) και Performance Qualification (PQ) κατόπιν αιτήματος. Η ομάδα μηχανικών εφαρμογών μας είναι διαθέσιμη για να σας βοηθήσει με προσαρμοσμένες διαμορφώσεις και εξειδικευμένες λύσεις παρακολούθησης.