عداد الجسيمات الهوائية من الدرجة السادسة للشاشات نصف الموصلة مع 316L الفولاذ المقاوم للصدأ الملمع بالكهرباء لمراقبة غرفة النظافة في صناعة الوافر

عداد جسيمات الهواء سداسي القنوات من فئة أشباه الموصلات Y09-SC100

Y09-SC100 عداد جسيمات الهواء ذو ​​ست قنوات لأشباه الموصلات لتصنيع الرقاقات

تم تصميم عداد جسيمات الهواء Y09-SC100 من الدرجة السادسة لأشباه الموصلات من الألف إلى الياء لتلبية متطلبات النظافة الاستثنائية لمرافق تصنيع رقائق أشباه الموصلات الحديثة. في تصنيع أشباه الموصلات المتقدم حيث يتم قياس أبعاد الميزات الحرجة بالنانومتر، حتى أعداد الجسيمات المكونة من رقم واحد في بيئة غرف الأبحاث يمكن أن تسبب عيوبًا قاتلة تدمر وظائف الدوائر المتكاملة وتقلل من إنتاجية الإنتاج. يعالج Y09-SC100 هذا التحدي من خلال الجمع بين المواد فائقة النظافة والبناء مع الكشف الدقيق عن الجسيمات القادرة على دعم شهادات غرف الأبحاث ISO Class 1 (Class 0.1) وبرامج المراقبة في عقد تصنيع أشباه الموصلات الأكثر تقدمًا.

تم تصنيع حاوية الأدوات من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقول كهربائيًا 316L، والذي تم اختياره لمقاومته الاستثنائية للتآكل، والحد الأدنى من خصائص تساقط الجسيمات، والتوافق مع بروتوكولات تنظيف غرف الأبحاث العدوانية المستخدمة في مرافق أشباه الموصلات. يتم فحص جميع المكونات الداخلية بحثًا عن إطلاق الغازات من المركبات العضوية المتطايرة المنخفضة جدًا (VOC) لمنع التلوث الجزيئي الذي يمكن أن يضر بعمليات الطباعة الحجرية الضوئية. يحمل Y09-SC100 شهادات السلامة SEMI S2 وS8، مما يؤكد الامتثال لمعايير سلامة المعدات الصارمة لصناعة أشباه الموصلات لاعتبارات البيئة والصحة والسلامة. يعمل التصميم الآمن للتفريغ الكهروستاتيكي الكامل (ESD) على حماية رقائق وأجهزة أشباه الموصلات الحساسة من التلف الكهروستاتيكي أثناء أنشطة المراقبة في مناطق الإنتاج.

• مواد البناء فائقة النظافة:توفر العلبة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقول كهربائيًا سعة 316L مقاومة استثنائية للتآكل، والحد الأدنى من تساقط الجسيمات، والتوافق مع بروتوكولات تنظيف غرف الأبحاث القوية بأشباه الموصلات. يتم اختيار المكونات الداخلية واختبارها من أجل إطلاق غازات المركبات العضوية المتطايرة المنخفضة للغاية لمنع التلوث الجزيئي الذي يمكن أن يضر بعمليات الطباعة الحجرية الضوئية والحفر المتقدمة.
• الامتثال للسلامة المعتمد من SEMI:تؤكد شهادة SEMI S2 الامتثال لإرشادات سلامة معدات تصنيع أشباه الموصلات لاعتبارات البيئة والصحة والسلامة. تتحقق شهادة SEMI S8 من الامتثال لإرشادات هندسة بيئة العمل الخاصة بمعدات تصنيع أشباه الموصلات، مما يضمن تفاعل المشغل الآمن والفعال أثناء أنشطة المراقبة الروتينية.
• الحماية الكاملة من التفريغ الكهروستاتيكي:يتضمن التصميم الآمن الكامل للتفريغ الكهروستاتيكي مواد غلاف موصلة، ومستلزمات التأريض، وتراكب شاشة اللمس التي تعمل على تشتيت الكهرباء الساكنة والتي تمنع تراكم الشحنات الكهروستاتيكية على أسطح الأجهزة. تتميز جميع الموصلات الخارجية بوجود صمامات ثنائية للحماية من التفريغ الكهروستاتيكي (ESD) لمنع الضرر الناتج عن التعامل مع الأحداث في مناطق الإنتاج الحساسة للتفريغ الإلكتروستاتيكي (ESD).
• بروتوكولات الاتصالات الصناعية:تتيح واجهة RS-485 Modbus RTU التكامل المباشر مع أنظمة مراقبة منشآت أشباه الموصلات (FMS) وأنظمة تنفيذ التصنيع (MES) باستخدام بروتوكول Modbus القياسي في الصناعة. يوفر اتصال Ethernet مع خادم الويب المضمن إمكانية المراقبة عن بعد والتكوين والوصول إلى البيانات عبر المستعرض من أي محطة عمل متصلة بالشبكة.
• أوضاع المراقبة الخاصة بأشباه الموصلات:تتوافق بروتوكولات أخذ العينات التي تم تكوينها مسبقًا مع معايير SEMI E49 وE70 لمراقبة الجسيمات في بيئات تصنيع أشباه الموصلات. تدعم شبكات أخذ العينات القابلة للتكوين رسم الخرائط الفعالة لخلجان تصنيع الرقائق، ومناطق الطباعة الحجرية الضوئية، وبيئات أدوات المعالجة مع تنظيم البيانات تلقائيًا حسب المساحة والأداة وخطوة العملية.

يخدم Y09-SC100 مرافق تصنيع أشباه الموصلات المتقدمة عبر مجموعة كاملة من تطبيقات مراقبة غرف الأبحاث. في غرف تصنيع الرقاقات النظيفة التي تعمل ضمن فئة ISO 1-3، توفر الأداة مراقبة الجسيمات عالية الحساسية الضرورية للتحكم في التلوث في مناطق الطباعة الحجرية الضوئية حيث تتطلب أدوات الغمر بطول 193 نانومتر وأدوات الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية بيئات نظيفة للغاية للحفاظ على إنتاجية العملية. يدعم الجهاز المراقبة المستمرة في أماكن معالجة الرقاقات لعمليات الترسيب والحفر وزرع الأيونات والتخطيط الميكانيكي الكيميائي (CMP) حيث يعد الحفاظ على ظروف غرف الأبحاث المستقرة أمرًا بالغ الأهمية للتحكم في العمليات.

تستخدم مرافق تعبئة واختبار أشباه الموصلات Y09-SC100 لمراقبة غرف الأبحاث من الفئة ISO 5-8 في صدمات الرقاقات، وتجميع الرقائق، وعمليات التعبئة والتغليف المتقدمة. تستخدم مرافق تصنيع الأقنعة الضوئية أداة لرصد البيئة فائقة النظافة في إنتاج الأقنعة الفارغة ومناطق الزخرفة حيث يؤثر التلوث بالميكرون الفرعي بشكل مباشر على جودة القناع الضوئي. تستفيد مرافق أشباه الموصلات المركبة التي تنتج أجهزة الترددات اللاسلكية والأجهزة الإلكترونية الضوئية وأجهزة الطاقة من توافق الأداة مع بيئات غرف الأبحاث المتخصصة. يدعم Y09-SC100 أيضًا الشركات المصنعة لمعدات أشباه الموصلات التي تقوم بإجراء تأهيل غرف الأبحاث واختبار القبول لأدوات العملية قبل الشحن والتركيب في منشآت تصنيع العملاء.

يتم تعبئة كل عداد جسيمات الهواء Sujing بعناية في علبة كرتونية متينة من فئة التصدير مع إدراجات رغوية عالية الكثافة لضمان أقصى قدر من الحماية أثناء الشحن الدولي. تتضمن العبوة القياسية وحدة الأدوات الرئيسية، ومسبار أخذ العينات متساوي الحركة، ومحول الطاقة مع كابل الشحن، وفلتر العد الصفري، ولفافة ورق الطابعة الحرارية، وكابل اتصال USB، ووسائط تثبيت برامج الكمبيوتر، وشهادة المعايرة، ودليل المستخدم الشامل، وحقيبة الحمل الواقية. تخضع جميع الشحنات لفحص شامل قبل الإرسال، بما في ذلك الاختبار الوظيفي عبر جميع قنوات الجسيمات الستة، والتحقق من العدد الصفري، وفحص معايرة معدل التدفق، واختبار واجهة الاتصال.

تحتفظ Sujing Instrument بنظام إدارة الجودة المعتمد ISO 9001:2015 مع إمكانية التتبع الكامل بدءًا من مصادر المواد الخام حتى تسليم المنتج النهائي. يخضع كل جهاز لاختبارات صارمة لضمان الجودة، بما في ذلك الاحتراق لمدة 24 ساعة، والتحقق من المعايرة متعددة النقاط، والتحقق من صحة الوظائف الكاملة قبل الإصدار. نحن نقدم دعمًا شاملاً لما بعد البيع، بما في ذلك ضمان قياسي لمدة 12 شهرًا، والاستشارة الفنية مدى الحياة، والمساعدة التشخيصية عن بعد، والمعايرة الاختيارية في الموقع مع خدمات الصيانة التي يقوم بها فنيون مدربون في المصنع. تغطي شبكة خدماتنا العالمية أكثر من 60 دولة حول العالم.

بالنسبة للصناعات الخاضعة للتنظيم والتي تتطلب وثائق رسمية للامتثال للغرف النظيفة، فإننا نقدم حزم دعم كاملة للتأهيل والتحقق، بما في ذلك بروتوكولات تأهيل التثبيت (IQ)، والتأهيل التشغيلي (OQ)، وتأهيل الأداء (PQ) عند الطلب. فريق هندسة التطبيقات لدينا متاح للمساعدة في التكوينات المخصصة وحلول المراقبة المتخصصة.