半導体グレードの6チャネル式空気粒子カウンタ 316L電極化ステンレス鋼用 ウェファーファブ クリーンルームモニタリング

半導体グレード6チャンネルエアパーティクルカウンター Y09-SC100

Y09-SC100 ウェーハ製造用半導体グレード 6 チャンネルエアパーティクルカウンター

Y09-SC100 半導体グレード 6 チャンネル空気粒子カウンターは、最新の半導体ウェーハ製造施設の並外れた清浄度要件に合わせてゼロから設計されています。重要な機能寸法がナノメートル単位で測定される高度な半導体製造では、クリーンルーム環境での粒子数が 1 桁であっても、集積回路の機能を破壊し、生産歩留まりを低下させる致命的な欠陥が発生する可能性があります。 Y09-SC100 は、超クリーンな材料と構造を、ISO クラス 1 (クラス 0.1) クリーンルーム認証と最先端の半導体製造ノードでの監視プログラムをサポートできる高精度粒子検出と組み合わせることで、この課題に対処します。

機器のエンクロージャは 316L 電解研磨ステンレス鋼で製造されており、その優れた耐食性、最小限の粒子脱落特性、および半導体施設で採用されている強力なクリーンルーム洗浄プロトコルとの互換性のために選ばれました。すべての内部コンポーネントは超低揮発性有機化合物 (VOC) のガス放出について検査され、フォトリソグラフィープロセスを損なう可能性のある分子汚染を防ぎます。 Y09-SC100 は SEMI S2 および S8 安全認証を取得しており、環境、健康、安全性を考慮した半導体業界の厳しい機器安全基準への準拠を確認しています。完全な静電気放電 (ESD) 安全設計は、生産エリアでの監視活動中に、敏感な半導体ウェーハやデバイスを静電気による損傷から保護します。

• 超クリーンな材料構造:316L 電解研磨ステンレス鋼エンクロージャは、優れた耐食性、最小限の粒子脱落、および積極的な半導体クリーンルーム洗浄プロトコルとの互換性を提供します。内部コンポーネントは、高度なフォトリソグラフィーやエッチング プロセスを損なう可能性のある分子汚染を防ぐために、超低 VOC ガス放出について選択およびテストされています。
• SEMI認定の安全性準拠:SEMI S2 認証は、環境、健康、安全性を考慮した半導体製造装置の安全ガイドラインへの準拠を確認します。 SEMI S8 認証は、半導体製造装置に特有の人間工学工学ガイドラインへの準拠を検証し、日常的な監視活動における安全かつ効率的なオペレーターの対話を保証します。
• 完全な ESD 保護:完全な静電放電安全設計には、導電性ハウジング材料、接地設備、および機器表面への静電荷の蓄積を防ぐ静電気散逸タッチスクリーン オーバーレイが含まれます。すべての外部コネクタには ESD 保護ダイオードが搭載されており、ESD に敏感な生産エリアでの取り扱いによる損傷を防ぎます。
• 産業用通信プロトコル:RS-485 Modbus RTU インターフェイスにより、業界標準の Modbus プロトコルを使用した半導体設備監視システム (FMS) および製造実行システム (MES) との直接統合が可能になります。組み込み Web サーバーとのイーサネット接続により、ネットワークに接続された任意のワークステーションからブラウザベースのリモート監視、設定、およびデータ アクセスが可能になります。
• 半導体固有の監視モード:半導体製造環境における粒子モニタリング用のSEMI E49およ​​びE70規格に準拠した事前構成されたサンプリングプロトコル。構成可能なサンプリング グリッドは、ベイ、ツール、およびプロセス ステップごとの自動データ編成により、ウェーハ製造ベイ、フォトリソグラフィ領域、およびプロセス ツール環境の効率的なマッピングをサポートします。

Y09-SC100 は、クリーンルーム監視アプリケーションの全範囲にわたって高度な半導体製造施設にサービスを提供します。 ISO クラス 1 ～ 3 で動作するウェーハ製造クリーンルームでは、この装置は、193nm 液浸および EUV リソグラフィ ツールがプロセスの歩留まりを維持するために非常にクリーンな環境を必要とするフォトリソグラフィ領域での汚染制御に不可欠な高感度粒子モニタリングを提供します。この機器は、安定したクリーンルーム条件を維持することがプロセス制御にとって重要である堆積、エッチング、イオン注入、および化学機械平坦化 (CMP) 操作のウェーハ処理ベイでの連続監視をサポートします。

半導体パッケージングおよびテスト施設では、ウエハー バンピング、フリップチップ アセンブリ、および高度なパッケージング作業における ISO クラス 5 ～ 8 のクリーンルーム監視に Y09-SC100 を利用しています。フォトマスク製造施設では、サブミクロンの汚染がフォトマスクの品質に直接影響を与えるマスクブランクの生産およびパターニングエリアでの超クリーン環境モニタリングにこの機器が使用されています。 RF、オプトエレクトロニクス、パワーデバイスを生産する化合物半導体施設は、特殊なクリーンルーム環境との機器の互換性から恩恵を受けます。 Y09-SC100 は、半導体装置メーカーが出荷および顧客の製造施設に設置する前にプロセス ツールのクリーンルーム認定および受け入れテストを実施することもサポートします。

Sujing 空気粒子計数器はそれぞれ、高密度フォームインサートを備えた耐久性のある輸出グレードのカートンに慎重に梱包されており、国際輸送中に最大限の保護を保証します。標準パッケージには、機器本体、等速サンプリング プローブ、充電ケーブル付き電源アダプタ、ゼロカウント フィルタ、サーマル プリンタ ロール紙、USB 通信ケーブル、PC ソフトウェア インストール メディア、校正証明書、包括的なユーザー マニュアル、および保護キャリング ケースが含まれます。すべての出荷品は、6 つの粒子チャネルすべてにわたる機能テスト、ゼロカウント検証、流量校正チェック、および通信インターフェイスのテストを含む徹底的な発送前検査を受けます。

Sujing Instrument は、原材料の調達から最終製品の納品まで完全なトレーサビリティを備えた ISO 9001:2015 認定の品質管理システムを維持しています。各機器は、リリース前に 24 時間のバーンイン、多点校正検証、完全な機能検証などの厳格な品質保証テストを受けます。当社は、12 か月の標準保証、生涯技術コンサルティング、リモート診断支援、工場で訓練を受けた技術者によるメンテナンス サービスを伴うオプションのオンサイト校正など、包括的なアフターサポートを提供します。当社のグローバル サービス ネットワークは、世界 60 か国以上をカバーしています。

正式なクリーンルームコンプライアンス文書を必要とする規制産業向けに、ご要望に応じて設置適格性評価 (IQ)、運用適格性評価 (OQ)、および性能適格性評価 (PQ) プロトコルを含む完全な適格性評価および検証サポート パッケージを提供します。当社のアプリケーション エンジニアリング チームは、カスタム構成と特殊な監視ソリューションを支援します。