Wafer Fab Temiz Oda İzleme için 316L Elektropolizli Paslanmaz Çelik ile Yarım iletken Derecesi Altı Kanal Hava Parçacık Sayıcısı

Yarım iletken sınıfı altı kanallı hava parçacıkları sayacısı Y09-SC100

Y09-SC100 Wafer Fab için Yarım iletken sınıfı altı kanallı hava parçacıkları sayacısı

Y09-SC100 Yarım iletken sınıfı Altı Kanal Hava Parçacık Sayıcısı, modern yarı iletken wafer üretim tesislerinin olağanüstü temizlik gereksinimleri için yerden tasarlanmıştır..Kritik özellik boyutlarının nanometre olarak ölçüldüğü gelişmiş yarı iletken üretiminde,Temiz oda ortamında tek basamaklı parçacık sayıları bile bütünleşik devrenin işlevselliğini yok eden ve üretim verimini azaltan katil kusurlara neden olabilir.Y09-SC100, bu zorluğu, ISO Sınıf 1'i (Sınıf 0.1) destekleyebilen hassas parçacık algılama ile ultra temiz malzemeleri ve yapıyı birleştirerek ele alıyor.1) En gelişmiş yarı iletken üretim düğümlerinde temiz oda sertifikasyonu ve izleme programları.

Enstrüman kabin 316L elektrikle cilalanmış paslanmaz çelikten yapılmıştır.ve yarı iletken tesislerinde kullanılan agresif temiz oda temizlik protokolü ile uyumlulukTüm iç bileşenler, fotolitografi süreçlerini tehlikeye atabilecek moleküler kirliliği önlemek için ultra düşük uçucu organik bileşik (VOC) gazlanmasına karşı taratılır.Y09-SC100, SEMI S2 ve S8 güvenlik sertifikalarına sahiptir., yarı iletken endüstrisinin çevresel, sağlık ve güvenlik bakımından sıkı ekipman güvenlik standartlarına uygunluğunu doğruluyor.Tam elektrostatik boşaltma (ESD) güvenli tasarımı, hassas yarı iletken levhaları ve cihazları üretim alanlarındaki izleme faaliyetleri sırasında elektrostatik hasardan korur.

• Ultra Temiz Malzemeler Yapımcılığı:316L elektrikle cilalanmış paslanmaz çelik kabı, olağanüstü korozyon direnci, minimum parçacık dökülmesi ve agresif yarı iletken temiz oda temizlik protokolleriyle uyumluluk sağlar.İç bileşenler, gelişmiş fotolitografi ve kazma işlemlerini tehlikeye atabilecek moleküler kirliliğin önlenmesi için ultra düşük VOC çıkışına seçilir ve test edilir..
• SEMI Sertifikalı Güvenlik Uyumluluğu:SEMI S2 sertifikası, çevresel, sağlık ve güvenlik bakımından yarı iletken üretim ekipmanları güvenlik kılavuzlarına uygunluğunu onaylar.SEMI S8 sertifikasyonu, yarı iletken üretim ekipmanlarına özel ergonomik mühendislik kılavuzlarına uygunluğunu doğrular, rutin izleme faaliyetleri sırasında operatörlerin güvenli ve verimli etkileşimlerini sağlamak.
• Tam ESD Koruması:Tam elektrostatik boşaltma güvenli tasarımı iletken konut malzemeleri, topraklama hükümleri,ve enstrüman yüzeylerinde elektrostatik yük birikmesini önleyen statik-düşükleyici dokunmatik ekran örtüsüTüm harici bağlantılar, ESD'ye duyarlı üretim alanlarında olayların işlenmesinden kaynaklanan hasarı önlemek için ESD koruma diyotlarına sahiptir.
• Endüstriyel İletişim Protokolleri:RS-485 Modbus RTU arayüzü, endüstri standardı Modbus protokolünü kullanarak yarı iletken tesisi izleme sistemleri (FMS) ve üretim yürütme sistemleri (MES) ile doğrudan entegrasyonu sağlar.Gömülü web sunucusu ile Ethernet bağlantısı tarayıcı tabanlı uzaktan izleme sağlar, yapılandırma ve ağ bağlantılı herhangi bir iş istasyonundan veri erişimi.
• Yarım iletken özel izleme modları:Yarım iletken üretim ortamlarında parçacık izleme için SEMI E49 ve E70 standartlarına uygun önceden yapılandırılmış örnekleme protokolleri.Yapılandırılabilir numuneleme ızgaraları, vafel üretim bölümlerinin verimli bir şekilde haritalandırılmasını destekler., fotolitografi alanları ve otomatik veri örgütlenmesi ile depo, araç ve süreç adımı ile işleme araç ortamları.

Y09-SC100, temiz oda izleme uygulamalarının tüm yelpazesinde gelişmiş yarı iletken üretim tesislerine hizmet vermektedir. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldEnstrüman, depolama, kazma, iyon ekimi için wafer işleme istasyonlarında sürekli izlemeyi destekler.ve kimyasal mekanik düzleştirme (CMP) işlemleri, süreç kontrolü için istikrarlı temiz oda koşullarının korunmasının kritik olduğu durumlarda.

Yarım iletken ambalajlama ve test tesisleri, wafer çarpma, flip-çip montajı ve gelişmiş ambalajlama işlemlerinde ISO Sınıf 5-8 temiz oda izleme için Y09-SC100'ü kullanır. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityRF, optoelektronik ve güç cihazları üreten bileşik yarı iletken tesisleri, aygıtın özel temiz oda ortamlarıyla uyumluluğundan yararlanmaktadır. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

Her Sujing hava parçacık sayacısı, uluslararası nakliye sırasında maksimum korumayı sağlayan yüksek yoğunluklu köpük eklemeleri ile dayanıklı bir ihracat sınıfı kartona dikkatlice paketlenmiştir.Standart ambalaj ana alet birimini içerir., izokinetik örnekleme sondası, şarj kablosu ile güç adaptörü, sıfır sayım filtri, termal yazıcı kağıt ruloları, USB iletişim kablosu, PC yazılımı kurulum ortamı, kalibrasyon sertifikası,kapsamlı kullanıcı kılavuzuTüm sevkiyatlar gönderilmeden önce altı parçacık kanalında fonksiyonel testler, sıfır sayım doğrulama,Akış hızı kalibrasyonu kontrolü, ve iletişim arayüzü testleri.

Sujing Instrument, hammadde kaynağından son ürün teslimatına kadar tam izlenebilirlikle ISO 9001: 2015 sertifikalı bir kalite yönetim sistemi sürdürmektedir.Her alet 24 saat yanma da dahil olmak üzere sıkı kalite güvencesi testlerine tabi tutulur.12 aylık standart garanti de dahil olmak üzere, satış sonrası kapsamlı destek sağlıyoruz.Hayat boyu teknik danışmanlık, uzaktan teşhis desteği ve fabrika eğitimli teknisyenler tarafından gerçekleştirilen bakım hizmetleri ile seçmeli yerinde kalibrasyon. Küresel servis ağımız dünya çapında 60'tan fazla ülkeyi kapsar.

Resmi temiz oda uyumluluk belgeleri gerektiren düzenlenmiş endüstriler için, kurulum yeterliliği (IQ),Operasyonel yeterlilik (OQ)Uygulama mühendisliği ekibimiz, özel yapılandırmalar ve özel izleme çözümleri ile yardımcı olmak için mevcuttur.