Contador de partículas de ar de seis canais de grau semicondutor com 316L de aço inoxidável eletropolido para monitoramento de sala limpa da Wafer Fab

Contador de partículas de ar de seis canais de grau de semicondutor Y09-SC100

Y09-SC100 Contador de partículas de ar de seis canais de grau de semicondutor para fabricantes de wafer

O contador de partículas de ar de seis canais de grau de semicondutor Y09-SC100 foi projetado a partir do zero para os requisitos extraordinários de limpeza das instalações modernas de fabricação de wafers de semicondutores.Na fabricação avançada de semicondutores, onde as dimensões das características críticas são medidas em nanómetros,Mesmo uma contagem de partículas de um dígito no ambiente de sala limpa pode causar defeitos fatais que destroem a funcionalidade do circuito integrado e reduzem o rendimento da produçãoO Y09-SC100 aborda este desafio combinando materiais e construção ultra-limpos com detecção de partículas de precisão capaz de suportar a Classe ISO 1 (Classe 0.1) programas de certificação e monitorização de salas limpas nos nós de fabricação de semicondutores mais avançados.

O gabinete do instrumento é fabricado em aço inoxidável polido a eletro 316L, selecionado pela sua excepcional resistência à corrosão, características mínimas de perda de partículas,e compatibilidade com os protocolos agressivos de limpeza de salas limpas empregados em instalações de semicondutoresTodos os componentes internos são revistos para detecção de descarga de compostos orgânicos voláteis (COV) de ultra-baixa concentração, a fim de evitar a contaminação molecular que possa comprometer os processos de fotolitografia.O Y09-SC100 possui as certificações de segurança SEMI S2 e S8, confirmando a conformidade com os rigorosos padrões de segurança dos equipamentos da indústria de semicondutores por considerações ambientais, de saúde e de segurança.Projeto seguro de descarga eletrostática total (ESD) protege as placas e dispositivos sensíveis de semicondutores de danos eletrostáticos durante as atividades de monitorização nas áreas de produção.

• Construção de materiais ultra-limpos:O gabinete de aço inoxidável 316L eletropolido oferece resistência à corrosão excepcional, perda mínima de partículas e compatibilidade com protocolos agressivos de limpeza de salas limpas de semicondutores.Os componentes internos são selecionados e testados para ultra-baixa emissão de COV para evitar a contaminação molecular que pode comprometer os processos avançados de fotolitografia e gravação.
• Conformidade de segurança certificada SEMI:A certificação SEMI S2 confirma a conformidade com as diretrizes de segurança dos equipamentos de fabricação de semicondutores por considerações ambientais, de saúde e de segurança.A certificação SEMI S8 verifica a conformidade com as directrizes de engenharia ergonómica específicas para os equipamentos de fabrico de semicondutores, assegurando uma interacção segura e eficiente dos operadores durante as actividades de monitorização de rotina.
• Proteção ESD completa:O projeto seguro de descarga eletrostática completa inclui materiais condutivos de armazenamento, disposições de aterragem,e sobreposição de ecrã táctil estático-dissipativo que impede o acúmulo de carga eletrostática nas superfícies dos instrumentosTodos os conectores externos são equipados com diodos de protecção ESD para evitar danos de manipulação de eventos em áreas de produção sensíveis a ESD.
• Protocolos de Comunicação Industrial:A interface RS-485 Modbus RTU permite a integração direta com sistemas de monitoramento de instalações de semicondutores (FMS) e sistemas de execução de fabricação (MES) usando o protocolo Modbus padrão da indústria.Conectividade Ethernet com servidor web incorporado fornece monitoramento remoto baseado em navegador, configuração e acesso aos dados a partir de qualquer estação de trabalho ligada à rede.
• Modos de monitorização específicos de semicondutores:Protocolos de amostragem pré-configurados alinhados com as normas SEMI E49 e E70 para a monitorização de partículas em ambientes de fabricação de semicondutores.Grades de amostragem configuráveis suportam um mapeamento eficiente das bacias de fabricação de wafer, áreas de fotolitografia e ambientes de ferramentas de processo com organização automática de dados por baía, ferramenta e etapa de processo.

O Y09-SC100 serve instalações de fabricação de semicondutores avançados em toda a gama de aplicações de monitoramento de salas limpas. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldO instrumento suporta a monitorização contínua em bacias de processamento de wafer para deposição, gravação, implantação de íons,e operações de planarização química mecânica (CMP) em que a manutenção de condições estáveis de sala limpa é crítica para o controle do processo.

As instalações de embalagem e teste de semicondutores utilizam o Y09-SC100 para monitoramento de salas limpas da classe ISO 5-8 em batidas de wafer, montagem de flip-chip e operações avançadas de embalagem. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityAs instalações de semicondutores compostos que produzem dispositivos de RF, optoeletrônicos e de potência beneficiam da compatibilidade do instrumento com ambientes especializados de salas limpas. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

Cada contador de partículas de ar Sujing é cuidadosamente embalado em uma embalagem de cartão de qualidade de exportação durável com inserções de espuma de alta densidade que garantem a máxima proteção durante o transporte internacional.A embalagem padrão inclui a unidade de instrumentos principal, sonda de amostragem isocinética, adaptador de alimentação com cabo de carregamento, filtro de contagem zero, papel de impressora térmica, cabo de comunicação USB, suporte de instalação de software para PC, certificado de calibração,Manual de utilização completoTodas as remessas são submetidas a uma inspecção completa antes da expedição, incluindo testes funcionais nos seis canais de partículas, verificação de contagem zero,Verificação da calibração do caudal, e testes de interfaces de comunicação.

A Sujing Instrument mantém um sistema de gestão da qualidade certificado ISO 9001:2015 com traçabilidade completa desde a obtenção de matérias-primas até à entrega do produto final.Cada instrumento é submetido a testes rigorosos de garantia de qualidade, incluindo a queima de 24 horas, verificação de calibração multi-ponto, e validação funcional completa antes da liberação.Consulta técnica ao longo da vidaA nossa rede global de serviços abrange mais de 60 países em todo o mundo.

Para as indústrias regulamentadas que exigem documentação formal de conformidade com a sala limpa, fornecemos pacotes completos de suporte de qualificação e validação, incluindo Qualificação de Instalação (IQ),Qualificação operacional (OQ)Nossa equipe de engenharia de aplicações está disponível para ajudar com configurações personalizadas e soluções de monitoramento especializadas.