Halbleitergrad Sechskanal-Luftpartikelzähler mit 316L elektropoliertem Edelstahl für Wafer Fab Cleanroom Monitoring

Sechskanalluftpartikelzähler der Halbleiterstufe Y09-SC100

Y09-SC100 Sechskanal-Luftpartikelzähler für Waferfabrikationen der Halbleiterqualität

Der sechskantige Luftpartikelzähler der Halbleiterstufe Y09-SC100 wurde von Grund auf für die außergewöhnlichen Reinheitsanforderungen moderner Halbleiterwaferfabrikationen entwickelt.In der Fertigung von fortgeschrittenen Halbleitern, bei denen die kritischen Merkmaldimensionen in Nanometern gemessen werden,Selbst eine einstellige Partikelzahl im Reinraum kann tödliche Defekte verursachen, die die Funktionalität der integrierten Schaltung zerstören und den Produktionsertrag reduzieren.Die Y09-SC100 begegnet dieser Herausforderung, indem sie ultra-saubere Materialien und Konstruktion mit einer präzisen Partikeldetektion kombiniert, die die ISO-Klasse 1 (Klasse 0.1) unterstützt.1) Zertifizierungs- und Überwachungsprogramme für Reinräume an den fortschrittlichsten Knotenpunkten der Halbleiterherstellung.

Das Instrumentengehäuse ist aus elektropoliertem Edelstahl 316L hergestellt, ausgewählt wegen seiner außergewöhnlichen Korrosionsbeständigkeit, minimalen Partikelverlust,und Kompatibilität mit den aggressiven Reinigungsverfahren für Reinräume in HalbleiteranlagenAlle internen Komponenten werden auf Ultra-Low-Volatile Organic Compound (VOC) -Ausgasung gescreent, um molekulare Kontamination zu vermeiden, die die Photolithographieprozesse beeinträchtigen kann.Der Y09-SC100 ist mit den Sicherheitszertifikaten SEMI S2 und S8 ausgestattet, die die Einhaltung der strengen Sicherheitsstandards der Halbleiterindustrie aus Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsgründen bestätigt.Eine sichere Konstruktion mit voller elektrostatischer Entladung (ESD) schützt empfindliche Halbleiterwafer und -geräte vor elektrostatischen Beschädigungen bei Überwachungstätigkeiten in Produktionsbereichen.

• Ultra-saubere Baumaterialien:Die 316L elektropolierte Edelstahlgehäuse bietet außergewöhnliche Korrosionsbeständigkeit, minimale Partikelvergießung und Kompatibilität mit aggressiven Halbleiterreinigungsprotokollen.Die internen Komponenten werden ausgewählt und auf eine sehr geringe VOC-Ausgasung getestet, um molekulare Kontamination zu vermeiden, die fortgeschrittene Photolithographie- und Ätzverfahren beeinträchtigen kann..
• SEMI-zertifizierte SicherheitskonformitätDie SEMI-S2-Zertifizierung bestätigt die Einhaltung der Sicherheitsrichtlinien für Halbleiteranlagen aus Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsgründen.Die Zertifizierung nach SEMI S8 stellt die Einhaltung der ergonomischen technischen Richtlinien für Halbleiterherstellungsgeräte sicher, um eine sichere und effiziente Interaktion des Betreibers während der routinemäßigen Überwachungstätigkeiten zu gewährleisten.
• Vollständiger ESD-Schutz:Die vollständige elektrostatische Entladungssicherheit umfasst leitfähige Gehäuse, Erdungsvorkehrungen,und statisch-dissipative Touchscreen-Überlagerung, die die Ansammlung elektrostatischer Ladungen auf den Instrumentenoberflächen verhindertAlle externen Steckverbinder sind mit ESD-Schutzdioden ausgestattet, um Schäden durch Handhabungsereignisse in ESD-empfindlichen Produktionsbereichen zu verhindern.
• Industrielle Kommunikationsprotokolle:Die RS-485 Modbus RTU-Schnittstelle ermöglicht die direkte Integration mit Halbleiter-Fabriküberwachungssystemen (FMS) und Fertigungsausführungssystemen (MES) mithilfe des industriestandardmäßigen Modbus-Protokolls.Ethernet-Konnektivität mit eingebettetem Webserver ermöglicht eine browserbasierte Fernüberwachung, Konfiguration und Datenzugriff von jedem netzwerkverbundenen Arbeitsplatz aus.
• Halbleiter-spezifische Überwachungsmodi:Vorkonfigurierte Probenahmeprotokolle, die den SEMI-Standards E49 und E70 für die Partikelüberwachung in Halbleiterherstellungsumgebungen entsprechen.Konfigurierbare Probenahmen unterstützen eine effiziente Kartierung von Waferfertigungsbereichen, Fotolithographiebereiche und Prozesswerkzeugumgebungen mit automatischer Datenorganisation nach Speicher, Werkzeug und Prozessschritt.

Der Y09-SC100 dient fortschrittlichen Halbleiterherstellungsbetrieben in der gesamten Palette von Reinraumüberwachungsanwendungen. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldDas Gerät unterstützt die kontinuierliche Überwachung in Waferverarbeitungs-Bereichen für Ablagerung, Ätzen, Ionenimplantation,und chemisch-mechanische Planarisierung (CMP), bei denen die Aufrechterhaltung stabiler Reinraumbedingungen für die Prozesssteuerung von entscheidender Bedeutung ist.

Halbleiterverpackungs- und Testanlagen verwenden den Y09-SC100 für die ISO-Klasse 5-8 Reinraumüberwachung bei Wafer-Bumping, Flip-Chip-Montage und fortschrittlichen Verpackungsvorgängen. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask quality• Verbundene Halbleiteranlagen zur Herstellung von HF-, Optoelektronik- und Leistungseinrichtungen profitieren von der Kompatibilität des Geräts mit spezialisierten Reinraumumgebungen. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

Jeder Sujing-Luftpartikelzähler ist sorgfältig in einem langlebigen Karton für den Export verpackt, der mit hochdichten Schaumfolien versehen ist, um einen maximalen Schutz beim internationalen Versand zu gewährleisten.Standardverpackung umfasst die Hauptinstrumenteinheit, isokinetische Probenahmesonde, Netzteil mit Ladekabel, Nullzählerfilter, Wärmedruckerpapierrolle, USB-Kommunikationskabel, Installationsmedien für PC-Software, Kalibrierzertifikat,umfassende BedienungsanleitungAlle Sendungen werden vor dem Versand einer gründlichen Inspektion unterzogen, einschließlich Funktionstests über alle sechs Partikelkanäle, Null-Zahl-Verifizierung,Prüfung der Kalibrierung der Durchflussrate, und Kommunikationsschnittstellenprüfung.

Sujing Instrument unterhält ein ISO 9001:2015 zertifiziertes Qualitätsmanagementsystem mit vollständiger Rückverfolgbarkeit von der Rohstoffbeschaffung bis zur Lieferung des Endprodukts.Jedes Gerät wird strengen Qualitätssicherungstests unterzogen, einschließlich 24-Stunden-Burn-inWir bieten umfassende Unterstützung nach dem Verkauf, einschließlich einer 12-monatigen Standardgarantie.Technische Beratung über die gesamte LebensdauerWir haben ein weltweites Servicenetzwerk, das über 60 Länder weltweit abdeckt.

Für regulierte Industriezweige, die eine formale Dokumentation zur Einhaltung von Reinräumen benötigen, bieten wir vollständige Qualifizierungs- und Validierungsunterstützungspakete, einschließlich Installationsqualifikation (IQ),Betriebsqualifikation (OQ)Das Applikationstechnikteam steht Ihnen bei der Erstellung von kundenspezifischen Konfigurationen und spezialisierten Überwachungslösungen zur Verfügung.