Máy đếm hạt không khí sáu kênh cấp bán dẫn với thép không gỉ được đánh bóng bằng điện 316L để giám sát phòng sạch wafer Fab

Máy đếm hạt không khí sáu kênh lớp bán dẫn Y09-SC100

Y09-SC100 Máy đếm hạt không khí sáu kênh lớp bán dẫn cho Wafer Fab

Các Y09-SC100 bán dẫn lớp Sáu kênh Air Particle Counter được thiết kế từ đầu để các yêu cầu vệ sinh đặc biệt của các cơ sở sản xuất wafer bán dẫn hiện đại.Trong sản xuất bán dẫn tiên tiến, khi kích thước các tính năng quan trọng được đo bằng nanomet,ngay cả số lượng hạt một chữ số trong môi trường phòng sạch có thể gây ra các khiếm khuyết giết người phá hủy chức năng mạch tích hợp và làm giảm năng suất sản xuấtY09-SC100 giải quyết thách thức này bằng cách kết hợp các vật liệu và cấu trúc cực sạch với phát hiện hạt chính xác có khả năng hỗ trợ ISO Class 1 (Class 0.1) Chương trình chứng nhận và giám sát phòng sạch tại các nút sản xuất bán dẫn tiên tiến nhất.

Bộ dụng cụ được chế tạo từ thép không gỉ 316L sơn điện, được lựa chọn cho khả năng chống ăn mòn đặc biệt của nó, đặc điểm nhỏ của hạt đổ,và tương thích với các giao thức làm sạch phòng sạch tích cực được sử dụng trong các cơ sở bán dẫnTất cả các thành phần bên trong được sàng lọc cho khí thải hợp chất hữu cơ dễ bay hơi (VOC) cực thấp để ngăn ngừa ô nhiễm phân tử có thể gây tổn hại cho quá trình chụp ảnh.Y09-SC100 mang chứng nhận an toàn SEMI S2 và S8, xác nhận sự tuân thủ các tiêu chuẩn an toàn thiết bị nghiêm ngặt của ngành công nghiệp bán dẫn vì các cân nhắc về môi trường, sức khỏe và an toàn.Thiết kế an toàn cho việc xả điện tĩnh hoàn toàn (ESD) bảo vệ các tấm và thiết bị bán dẫn nhạy cảm khỏi thiệt hại điện tĩnh trong các hoạt động giám sát trong các khu vực sản xuất.

• Xây dựng bằng vật liệu cực sạch:316L điện đánh bóng thép không gỉ bao bì cung cấp khả năng chống ăn mòn đặc biệt, nhỏ nhất hạt đổ, và tương thích với các giao thức vệ sinh phòng sạch bán dẫn hung hăng.Các thành phần nội bộ được lựa chọn và thử nghiệm cho khí thải VOC cực thấp để ngăn ngừa ô nhiễm phân tử có thể gây tổn hại cho các quy trình photolithography và khắc tiên tiến.
• Sự tuân thủ an toàn được chứng nhận SEMI:Chứng nhận SEMI S2 xác nhận sự tuân thủ các hướng dẫn an toàn thiết bị sản xuất bán dẫn vì các cân nhắc về môi trường, sức khỏe và an toàn.Chứng nhận SEMI S8 xác minh sự tuân thủ các hướng dẫn kỹ thuật ergonomics cụ thể cho thiết bị sản xuất bán dẫn, đảm bảo sự tương tác an toàn và hiệu quả của nhà khai thác trong các hoạt động giám sát thông thường.
• Bảo vệ ESD hoàn chỉnh:Thiết kế an toàn điện tĩnh đầy đủ xả bao gồm vật liệu lồng dẫn điện, các điều khoản nối đất,và lớp phủ màn hình cảm ứng phân tán tĩnh ngăn ngừa tích lũy điện tĩnh trên bề mặt thiết bịTất cả các đầu nối bên ngoài đều có đèn LED bảo vệ ESD để ngăn ngừa thiệt hại do xử lý các sự kiện trong các khu vực sản xuất nhạy cảm với ESD.
• Các giao thức truyền thông công nghiệp:Giao diện RS-485 Modbus RTU cho phép tích hợp trực tiếp với hệ thống giám sát cơ sở bán dẫn (FMS) và hệ thống thực hiện sản xuất (MES) bằng cách sử dụng giao thức Modbus tiêu chuẩn công nghiệp.Kết nối Ethernet với máy chủ web nhúng cung cấp giám sát từ xa dựa trên trình duyệt, cấu hình và truy cập dữ liệu từ bất kỳ trạm làm việc được kết nối mạng nào.
• Chế độ giám sát riêng của bán dẫn:Các giao thức lấy mẫu được cấu hình sẵn phù hợp với các tiêu chuẩn SEMI E49 và E70 để giám sát hạt trong môi trường sản xuất bán dẫn.Các lưới lấy mẫu có thể cấu hình hỗ trợ lập bản đồ hiệu quả các khu vực sản xuất wafer, các khu vực photolithography và môi trường công cụ xử lý với tổ chức dữ liệu tự động theo khoang, công cụ và bước quy trình.

Y09-SC100 phục vụ các cơ sở sản xuất bán dẫn tiên tiến trên toàn bộ các ứng dụng giám sát phòng sạch. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldCác thiết bị hỗ trợ giám sát liên tục trong wafer xử lý khoang để lắng đọng, khắc, cấy ghép ionvà các hoạt động phẳng hóa học cơ học (CMP) khi duy trì điều kiện phòng sạch ổn định là rất quan trọng để kiểm soát quy trình.

Các cơ sở đóng gói và thử nghiệm bán dẫn sử dụng Y09-SC100 cho việc giám sát phòng sạch ISO lớp 5-8 trong việc đập wafer, lắp ráp flip-chip và các hoạt động đóng gói tiên tiến. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityCác cơ sở bán dẫn hợp chất sản xuất các thiết bị RF, optoelectronic và năng lượng được hưởng lợi từ tính tương thích của thiết bị với môi trường phòng sạch chuyên biệt. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

Mỗi bộ đếm hạt khí Sujing được đóng gói cẩn thận trong một thùng carton xuất khẩu chất lượng bền với nhựa bọt mật độ cao để đảm bảo bảo vệ tối đa trong vận chuyển quốc tế.Bao bì tiêu chuẩn bao gồm bộ dụng cụ chính, đầu dò lấy mẫu isokinetic, bộ điều hợp điện với cáp sạc, bộ lọc không, cuộn giấy máy in nhiệt, cáp liên lạc USB, phương tiện cài đặt phần mềm máy tính, giấy chứng nhận hiệu chuẩn,hướng dẫn sử dụng toàn diệnTất cả các lô hàng được kiểm tra kỹ lưỡng trước khi vận chuyển bao gồm kiểm tra chức năng trên tất cả sáu kênh hạt, xác minh số lượng không,Kiểm tra hiệu chuẩn dòng chảy, và thử nghiệm giao diện truyền thông.

Sujing Instrument duy trì một hệ thống quản lý chất lượng được chứng nhận ISO 9001: 2015 với khả năng truy xuất hoàn toàn từ nguồn cung cấp nguyên liệu thô đến giao hàng sản phẩm cuối cùng.Mỗi dụng cụ trải qua kiểm tra đảm bảo chất lượng nghiêm ngặt bao gồm đốt trong 24 giờChúng tôi cung cấp hỗ trợ sau bán hàng toàn diện bao gồm bảo hành tiêu chuẩn 12 tháng,tư vấn kỹ thuật suốt đời, hỗ trợ chẩn đoán từ xa và hiệu chuẩn tùy chọn tại chỗ với các dịch vụ bảo trì được thực hiện bởi các kỹ thuật viên được đào tạo tại nhà máy.

Đối với các ngành công nghiệp được quy định yêu cầu tài liệu tuân thủ phòng sạch chính thức, chúng tôi cung cấp các gói hỗ trợ đủ điều kiện và xác thực đầy đủ bao gồm Chứng chỉ cài đặt (IQ),Chứng chỉ hoạt động (OQ), và các giao thức Chứng nhận hiệu suất (PQ) theo yêu cầu.