Шестиканальный счетчик частиц воздуха полупроводникового класса с электрополированной нержавеющей сталью 316L для мониторинга чистых помещений на заводе по производству пластин

Шестиканальный счетчик частиц воздуха полупроводникового класса Y09-SC100

Шестиканальный счетчик частиц воздуха полупроводникового класса Y09-SC100 для производства пластин

Шестиканальный счетчик частиц воздуха полупроводникового класса Y09-SC100 спроектирован с нуля с учетом исключительных требований к чистоте современных предприятий по производству полупроводниковых пластин. В современном производстве полупроводников, где размеры критически важных элементов измеряются в нанометрах, даже однозначное количество частиц в чистых помещениях может вызвать серьезные дефекты, которые разрушают функциональность интегральных схем и снижают производительность производства. Y09-SC100 решает эту проблему, сочетая сверхчистые материалы и конструкцию с точным обнаружением частиц, способным поддерживать программы сертификации и мониторинга чистых помещений ISO класса 1 (класс 0,1) на самых передовых узлах производства полупроводников.

Корпус прибора изготовлен из электрополированной нержавеющей стали 316L, выбранной из-за ее исключительной коррозионной стойкости, минимального высыпания частиц и совместимости с агрессивными протоколами очистки чистых помещений, применяемыми на полупроводниковых предприятиях. Все внутренние компоненты проверяются на выделение газов со сверхнизким содержанием летучих органических соединений (ЛОС) для предотвращения молекулярного загрязнения, которое может поставить под угрозу процессы фотолитографии. Y09-SC100 имеет сертификаты безопасности SEMI S2 и S8, подтверждающие соответствие строгим стандартам безопасности полупроводникового оборудования с точки зрения защиты окружающей среды, здоровья и безопасности. Полностью безопасная для электростатического разряда (ESD) конструкция защищает чувствительные полупроводниковые пластины и устройства от электростатического повреждения во время мониторинга на производственных участках.

• Конструкция из сверхчистых материалов:Корпус из электрополированной нержавеющей стали 316L обеспечивает исключительную коррозионную стойкость, минимальное высыпание частиц и совместимость с агрессивными протоколами очистки полупроводниковых чистых помещений. Внутренние компоненты отбираются и тестируются на сверхнизкое выделение летучих органических соединений, чтобы предотвратить молекулярное загрязнение, которое может поставить под угрозу современные процессы фотолитографии и травления.
• Сертифицированное соответствие безопасности SEMI:Сертификация SEMI S2 подтверждает соответствие требованиям безопасности оборудования для производства полупроводников с точки зрения охраны окружающей среды, здоровья и безопасности. Сертификация SEMI S8 подтверждает соответствие рекомендациям по эргономике, специфичным для оборудования для производства полупроводников, обеспечивая безопасное и эффективное взаимодействие оператора во время повседневного мониторинга.
• Полная защита от электростатического разряда:Полностью безопасная от электростатического разряда конструкция включает в себя проводящие материалы корпуса, средства заземления и антистатическую накладку сенсорного экрана, которая предотвращает накопление электростатического заряда на поверхностях прибора. Все внешние разъемы оснащены диодами для защиты от электростатического разряда, чтобы предотвратить повреждения в результате обработки событий в производственных зонах, чувствительных к электростатическому разряду.
• Протоколы промышленной связи:Интерфейс RS-485 Modbus RTU обеспечивает прямую интеграцию с системами мониторинга полупроводникового оборудования (FMS) и системами управления производством (MES) с использованием стандартного протокола Modbus. Соединение Ethernet со встроенным веб-сервером обеспечивает удаленный мониторинг, настройку и доступ к данным с помощью браузера с любой рабочей станции, подключенной к сети.
• Режимы мониторинга полупроводников:Предварительно настроенные протоколы отбора проб, соответствующие стандартам SEMI E49 и E70, для мониторинга частиц в условиях производства полупроводников. Настраиваемые сетки отбора проб поддерживают эффективное картирование участков изготовления пластин, зон фотолитографии и сред технологического оборудования с автоматической организацией данных по отсекам, инструментам и этапам процесса.

Y09-SC100 обслуживает передовые предприятия по производству полупроводников для выполнения всего спектра задач по мониторингу чистых помещений. В чистых помещениях при производстве пластин, соответствующих классу ISO 1–3, прибор обеспечивает высокочувствительный мониторинг частиц, необходимый для контроля загрязнения в зонах фотолитографии, где инструменты для иммерсионной и EUV-литографии с длиной волны 193 нм требуют чрезвычайно чистой среды для поддержания производительности процесса. Прибор поддерживает непрерывный мониторинг в отсеках обработки пластин для операций осаждения, травления, ионной имплантации и химико-механической планаризации (ХМП), где поддержание стабильных условий в чистом помещении имеет решающее значение для управления процессом.

На предприятиях по упаковке и тестированию полупроводников Y09-SC100 используется для мониторинга чистых помещений классов ISO 5–8 при сборке пластин, сборке перевернутых кристаллов и сложных операциях упаковки. На предприятиях по производству фотомасок этот прибор используется для мониторинга сверхчистой окружающей среды на участках производства заготовок масок и нанесения рисунков, где субмикронные загрязнения напрямую влияют на качество фотомасок. Предприятия по производству полупроводниковых приборов, производящие радиочастотные, оптоэлектронные и силовые устройства, получают выгоду от совместимости прибора со специализированными чистыми помещениями. Y09-SC100 также помогает производителям полупроводникового оборудования проводить аттестацию и приемочные испытания технологических инструментов в чистых помещениях перед отправкой и установкой на производственных объектах клиентов.

Каждый счетчик частиц воздуха Sujing тщательно упаковывается в прочную экспортную коробку со вставками из пенопласта высокой плотности, обеспечивающими максимальную защиту во время международной доставки. Стандартная упаковка включает в себя основной блок прибора, изокинетический пробоотборник, адаптер питания с зарядным кабелем, фильтр нулевого счета, рулон бумаги для термопринтера, USB-кабель связи, установочный носитель программного обеспечения для ПК, сертификат калибровки, подробное руководство пользователя и защитный чехол для переноски. Все поставки проходят тщательную проверку перед отправкой, включая функциональное тестирование по всем шести каналам частиц, проверку нулевого количества, проверку калибровки расхода и тестирование интерфейса связи.

Sujing Instrument поддерживает сертифицированную по стандарту ISO 9001:2015 систему управления качеством с полной отслеживаемостью от источника сырья до доставки конечного продукта. Каждый прибор проходит тщательное тестирование качества, включая 24-часовую проверку, многоточечную проверку калибровки и полную функциональную проверку перед выпуском. Мы предоставляем комплексную послепродажную поддержку, включая 12-месячную стандартную гарантию, пожизненную техническую консультацию, помощь в удаленной диагностике и дополнительную калибровку на месте, а также услуги по техническому обслуживанию, выполняемые специалистами, прошедшими обучение на заводе. Наша глобальная сервисная сеть охватывает более 60 стран мира.

Для регулируемых отраслей, которым требуется официальная документация о соответствии чистым помещениям, мы предоставляем по запросу полные пакеты поддержки по квалификации и проверке, включая протоколы квалификации установки (IQ), эксплуатационной квалификации (OQ) и квалификации производительности (PQ). Наша команда разработчиков приложений готова помочь с индивидуальными конфигурациями и специализированными решениями для мониторинга.