Compteur de particules d'air à six canaux de qualité semi-conducteur avec 316L en acier inoxydable électropolissé pour la surveillance des salles blanches de fabrication de gaufres

Compteur de particules d'air à six canaux de qualité semi-conducteur Y09-SC100

Y09-SC100 Compteur de particules d'air à six canaux de qualité semi-conducteur pour fabrication de gaufres

Le compteur de particules d'air à six canaux de qualité semi-conducteur Y09-SC100 est conçu à partir de zéro pour les exigences de propreté extraordinaires des installations modernes de fabrication de plaquettes de semi-conducteurs.Dans la fabrication avancée de semi-conducteurs où les dimensions des caractéristiques critiques sont mesurées en nanomètres,Même un nombre de particules à un chiffre dans l'environnement de la salle blanche peut causer des défauts mortels qui détruisent la fonctionnalité du circuit intégré et réduisent le rendement de production.Le Y09-SC100 répond à ce défi en combinant des matériaux et une construction ultra-propres avec une détection de particules de précision capable de prendre en charge la classe ISO 1 (classe 0.1) programmes de certification et de surveillance des salles blanches dans les nœuds de fabrication de semi-conducteurs les plus avancés.

Le boîtier d'instruments est fabriqué en acier inoxydable 316L électropolisé, sélectionné pour sa résistance exceptionnelle à la corrosion, ses caractéristiques minimales de déversement de particules,et compatibilité avec les protocoles agressifs de nettoyage des salles blanches utilisés dans les installations de semi-conducteursTous les composants internes sont soumis à un dépistage de l'expulsion de composés organiques volatils (COV) à très faible teneur en gaz afin d'éviter une contamination moléculaire pouvant compromettre les processus de photolithographie.Le Y09-SC100 est muni des certifications de sécurité SEMI S2 et S8, confirmant la conformité avec les normes strictes de sécurité des équipements de l'industrie des semi-conducteurs pour des raisons environnementales, de santé et de sécurité.Une conception sûre de la décharge électrostatique complète (ESD) protège les plaquettes et les dispositifs de semi-conducteurs sensibles contre les dommages électrostatiques lors des activités de surveillance dans les zones de production.

• Construction avec des matériaux ultra-propres:Le boîtier en acier inoxydable électropoli 316L offre une résistance exceptionnelle à la corrosion, une émission minimale de particules et une compatibilité avec les protocoles agressifs de nettoyage des salles blanches de semi-conducteurs.Les composants internes sont sélectionnés et testés pour des dégagements de COV ultra-faibles afin d'éviter une contamination moléculaire pouvant compromettre les procédés de photolithographie et de gravure avancés.
• Conformité à la sécurité certifiée SEMI:La certification SEMI S2 confirme la conformité avec les lignes directrices de sécurité des équipements de fabrication de semi-conducteurs pour des raisons environnementales, de santé et de sécurité.La certification SEMI S8 vérifie la conformité avec les lignes directrices techniques ergonomiques spécifiques aux équipements de fabrication de semi-conducteurs, assurant une interaction sûre et efficace de l'opérateur lors des activités de surveillance de routine.
• Protection ESD complète:La conception sûre de la décharge électrostatique complète comprend des matériaux conducteurs, des dispositions de mise à la terre,une couche d'écran tactile statique-dissipatif qui empêche l'accumulation de charges électrostatiques sur les surfaces des instrumentsTous les connecteurs externes sont équipés de diodes de protection ESD pour éviter les dommages causés par la manipulation d'événements dans les zones de production sensibles aux ESD.
• Protocoles de communication industrielle:L'interface RS-485 Modbus RTU permet une intégration directe avec les systèmes de surveillance des installations de semi-conducteurs (FMS) et les systèmes d'exécution de fabrication (MES) en utilisant le protocole Modbus standard de l'industrie.La connectivité Ethernet avec un serveur Web intégré fournit une surveillance à distance basée sur un navigateur, la configuration et l'accès aux données depuis n'importe quelle station de travail connectée au réseau.
• Les modes de surveillance spécifiques aux semi-conducteurs:Protocoles d'échantillonnage préconfigurés alignés sur les normes SEMI E49 et E70 pour la surveillance des particules dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs.Les grilles d'échantillonnage configurables permettent une cartographie efficace des zones de fabrication des wafers, les zones de photolithographie et les environnements d'outils de traitement avec organisation automatique des données par zone, outil et étape de processus.

Le Y09-SC100 sert des installations de fabrication de semi-conducteurs avancés dans toute la gamme d'applications de surveillance des salles blanches. the instrument provides the high-sensitivity particle monitoring essential for contamination control in photolithography areas where 193nm immersion and EUV lithography tools demand extraordinarily clean environments to maintain process yieldL'instrument prend en charge la surveillance continue dans les plates-formes de traitement des plaquettes pour le dépôt, la gravure, l'implantation ionique,et les opérations de planarisation chimique mécanique (CMP) où le maintien de conditions de salle blanche stables est essentiel pour le contrôle du processus.

Les installations d'emballage et d'essais de semi-conducteurs utilisent le Y09-SC100 pour la surveillance des salles blanches de classe ISO 5-8 dans les opérations d'emballage avancées. Photomask manufacturing facilities employ the instrument for ultra-clean environment monitoring in mask blank production and patterning areas where sub-micron contamination directly impacts photomask qualityLes installations de semi-conducteurs composés produisant des appareils RF, optoélectroniques et de puissance bénéficient de la compatibilité de l'instrument avec des environnements de salle blanche spécialisés. The Y09-SC100 also supports semiconductor equipment manufacturers performing cleanroom qualification and acceptance testing of process tools prior to shipment and installation at customer fabrication facilities.

Chaque compteur de particules d'air Sujing est soigneusement emballé dans un carton de qualité export durable avec des inserts en mousse haute densité assurant une protection maximale pendant l'expédition internationale.L'emballage standard comprend l'unité principale d'instrumentation, sonde d'échantillonnage isokinétique, adaptateur d'alimentation avec câble de charge, filtre à zéro débit, rouleau de papier d'imprimante thermique, câble de communication USB, support d'installation de logiciel PC, certificat d'étalonnage,manuel d'utilisation completToutes les expéditions sont soumises à une inspection minutieuse avant expédition, y compris des tests fonctionnels sur les six canaux de particules, une vérification du nombre zéro,vérification de l'étalonnage du débit, et les tests d'interfaces de communication.

Sujing Instrument maintient un système de gestion de la qualité certifié ISO 9001:2015 avec une traçabilité complète de l'approvisionnement en matières premières à la livraison du produit final.Chaque instrument est soumis à des tests rigoureux d'assurance de la qualité, y compris une mise à feu de 24 heures.Nous fournissons un support après-vente complet, y compris une garantie standard de 12 mois,consultation technique tout au long de la vieNotre réseau mondial de services couvre plus de 60 pays à travers le monde.

Pour les industries réglementées nécessitant une documentation officielle de conformité en salle blanche, nous fournissons des packages complets de soutien à la qualification et à la validation, y compris la qualification d'installation (IQ),Qualification opérationnelle (QO)Notre équipe d'ingénieurs d'applications est disponible pour vous aider avec des configurations personnalisées et des solutions de surveillance spécialisées.